半导体薄膜的制备实验的特殊性及教学尝试要点.doc

半导体薄膜的制备实验的特殊性及教学尝试 四级物理实验的宗旨 按实验内容的基础普遍性、难易程度与学生知识水平相适应分为四级实验。一级实验：基本操作与测量，普及型。二、三级实验：逐步增加综合性与设计性实验的比例及难度，由教师安排，过渡到学生自己设计实验，自己准备仪器完成实验。培养综合思维和创造能力。四级实验以科研实践为主题，以科学研究的方式进行实验教学，培养学生独立科研的能力。达到以上要求的难点（对三、四级实验而言） （1）三、四级实验的对象是理科和物理类学生，有几百人参加。设备和师资有限，可能带来如下问题：设备总量将严重不足实验周期大大拉长，指导教师工作量大大增加。（2）由于增加了具有时代性和先进性的现代实验，引入了一些大型或高精尖设备，不可能让每人得到充分的操作训练，可能带来如下问题：实验设备少，操作受限；操作规程过于规范，束缚思维；实验先进，大大超前理论：知其然不知其所以然；实验标题及方法固定，实际上就难以切入真正的科研。 解决方式： ?（1）实验闲隙中（如抽真空等待时），以计算机演示的方式，向同学讲解：固体物理和半导体物理预备知识，实验原理和操作规程；（2）每次实验必须打开真空室，结合实物讲解；（3）请同学自己总结问题和提出问题； （4）利用学期近结束时的开放时间安排科研实践活动。 下是计算机部分演示： ZnO透明导电薄膜和金属电极的制备 ???预备知识：半导体结