真空镀膜技术技术总结.pptVIP

真空镀膜技术 一、简介 真空区域的划分 目前尚无统一规定，常见的划分为： 粗真空 低真空 高真空 超高真空 极高真空 真空获得—真空泵 1654年，德国物理学家葛利克发明了抽气泵，做了著名的马德堡半球试验。 原理：当泵工作后，形成压差，p1 p2，实现了抽气。 真空泵的分类 气体传输泵: 是一种能将气体不断地吸入并排出泵外 以达到抽气目的的真空泵，例如旋片 机械泵、油扩散泵、涡轮分子泵。 气体捕集泵: 是一种使气体分子短期或永久吸附、凝 结在泵内表面的真空泵，例如分子筛 吸附泵、鈦升华泵、溅射离子泵、低温 泵和吸气剂泵。 真空泵的主要参数 抽气速率: 定义为在泵的进气口任意给定压强下，单位时间内流入泵内的气体体积 或表示为： 其中，Q为单位时间内流入泵的气体量。 泵的抽气速率S并不是常数，随P而变。 极限压强 (极限真空) 最高工作压强 工作压强范围（ ） 泵能正常工作的压强范围 几种常用真空泵的工作压强范围 旋片机械泵 吸附泵 扩散泵 涡轮分子泵 溅射离子泵 低温泵 几种常用真空泵的工作原理1. 旋片机械泵 工作过程是： 吸气—压缩—排气。 定子浸在油中起润滑，密封和堵塞缝隙的作用。 主要参量是： 抽速和极限压强。 由于极限压强较高， 常用做前级泵(预抽泵)。 2. 油扩散泵 油蒸发—喷射—凝结，重复循环 由于射流具有工作过程高流速(约200米/秒)、高密度、高分子量(300—500)，故能有效地带走气体分子。 扩散泵不能单独使用，一般采用机械泵为前级泵，以满足出口压强(最大40Pa)，如果出口压强高于规定值，抽气作用就会停止。 真空的测量—真空计1.热电偶真空计 热电偶真空计是通过热电偶中热丝的温度与压强的关系确定真空度。 2.热阴极电离真空计 具有足够能量的电子在运动中与气体分子碰撞，可能引起分 子的电离，产生正离子及电子。而电子在一定的“飞行”路程中与分 子的碰撞次数，又正比于分子的密度，一定温度下也正比于气体 压强，故产生的正离子数也正比于压强。由此可见，电离现象是 与压强有关的现象，可作为一种真空测定原理的依据。 三、真空镀膜 真空溅射：当高能粒子(电场加速的正离子)打在固体表 面时，与表面的原子、分子交换能量，从而使这 些原子、分子飞溅出来。 真空蒸发：在真空中把制作薄膜的材料加热蒸发，使其 淀积在适当的表面上。 离子镀： 真空热蒸发和溅射两种技术结合而发展起来的 一种新工艺。 薄膜厚度的测量 （2）银 Ag ? 适用于可见区和红外区波段，具有很高的反射率。 ? 可见区的反射率可以达到95％，红外区反射率99％，紫外区反射率很低。? （3）金 Au ? 在红外波段内具有几乎和银差不多的反射率，用作红外反射镜，金膜新蒸发时，薄层较软，大约一周后，金膜硬度趋于稳定，膜层牢固度也趋于稳定。 ? （4）铬 Cr ? Cr膜在可见区具有很好的中性，膜层非常牢固，常用作中性衰减膜。? 2、介质薄膜 ? 对材料的基本要求：透明度、折射率、机械牢固度和化学稳定性以及抗高能辐射。 （1）透明度 短波吸收或本征吸收I：主要是由光子作用使电子由价带跃迁到导带引起的； 透明区II：光子能量不足促使价电子激发，除了少量杂质吸收和半导体中自由载流子吸收外，没有其他吸收机理。 长波吸收区III：主要是晶格振动吸收，在半导体还有自由载流子吸收。 介质薄膜透过率的光谱特性 在大多数应用中，需要根据波长范围选择具有适当的透明区域的薄膜材料，这一点大大限制了薄膜材料选择的余地，特别是对红外区域和紫外区域应用的薄膜。 （2）折射率 ? 薄膜的折射率主要依赖： ? 材料种类：材料的折射率是由它的价电子在电场作用下的性质决定。材料外层价电子很容易极化，其折射率一定很高；对化合物，电子键结合的化合物要比离子键的折射率高。折射率大致次序递增：卤化物、氧化物、硫化物和半导体材料。 ? 波长：折射率随波长变化为色散