AFM保养维护作业指导书.docxVIP

文件编号页 次文件名称AFM维护保养作业指导书制定部门制订日期1.0 目的：本文旨在规范AFM之预防保养及维修作业,以维护产品于制程中之品质,与工作人员之安全。2.0 范围：本标准适用于AFM预防保养与维修作业。3.0 定义：无。4.0 作业内容： 针对设备维护保养、更换探针及开关机步骤。 5.0 注意事项：实施保养作业前，将机台上之杂物清理干净，并把机台标识牌调到“设备保养”位置。保养时，应带上口罩和手套，并做好各项安全措施。保养时，须按部就班地进行保养，且注意安全。6.0日常保养：AFM 机台编号:______ 保养日期 : 保养周期：周、月、季、年序号周期计划保养项目处理方法完成打√标准值执行人备注1周运动平台清洁用无尘布蘸酒精擦拭　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　6.1运动平台清洁：6.1.1用无尘布蘸酒精擦拭STAGE运动平台，预防脏污或颗粒影响STAGE在平台上匀速运动。校 准审 查拟 案版 本修订内容修订日期符号版本号A修改号0文件编号页 次6.2 更换探针：（更换前戴好乳胶手套，准备好镊子、探针和治具）6.2.1双击桌面上的AutoMET图标 ，打开AutoMET测试软件运行软件后，系统会自动进入初始化界面。6.2.2等待出现复位提示窗口，点击‘Yse’按钮，样品会自动移动到初始化位置。6.2.3待状态窗口出现‘Ready’的提示字样，表示系统初始化已完成。6.2.4点击按钮按钮，TIP往上抬起，然后取下激光器，旋转松开位于扫描头卡槽右侧中部的螺丝，释放扫描头，小心地将扫描头从卡槽上部取出，取出探针夹。 文件编号页 次6.2.5将探针器平放在桌面上，将探针夹滑入装针器相应的位置，装针时，将探针夹上的弹簧片后端压下，并向后拉。用镊子小心地将探针夹紧放入探针夹凹槽里，使探针后部正好与凹槽里的边缘相抵。轻轻地将弹簧片压住向前推动，然后松开手指，使弹簧片压紧探针。 6.2.6完成装探针步骤后将探针夹取出安装到激光器上。6.2.7然后把装好探针夹的扫描头轻轻沿卡槽放回显微镜基座，并旋转拧紧位于扫描头卡槽右侧中部的螺丝，将扫描头固定住。 6.3调整激光：6.3.1将激光打在悬臂前端。扫描头上部右侧有两个激光调节旋钮，并有两个箭头标明了顺时针旋转激光调节旋钮时激光光斑位置的移动方向。文件编号页次6.3.1取一张白纸置于扫描管正下方，红色的激光光斑将反映在白纸上。若看不到激光光斑，逆时针旋转右后方的激光调节旋钮，直到看到激光光斑。6.3.2顺时针旋转右后方的激光调节旋钮，直到激光光斑消失。这时，激光应该打在探针基底的左侧边缘上。逆时针旋转右后方的激光调节旋钮，直到激光光斑刚好出现。6.3.3顺时针或逆时针旋转左前方的激光调节旋钮，直到激光光斑突然变暗，继续旋转旋钮则又变亮。调回光斑突然变暗的位置，此时激光应该打在悬臂的后端。6.3.4逆时针旋转右后方的激光调节旋钮，直到看到激光光斑。顺时针旋转右后方的激光调节旋钮，直到激光光斑刚好消失，此时激光应该打在悬臂的最前端。6.4调整激光检测器位置：6.4.1点击按钮，系统将对激光自动校准，等待跳出“Laser Alignment”窗口，微调左侧两个检测器的位置，调节旋钮，使Vert. Defl.和Hori. Defl.两个值接近于零。 6.4.2激光检测器调试完毕，点击，stage会移动到激光器的对准位置。通过图像上显示将激光打到离针尖三分之一处即可。文件编号页次6.5设备开关机：6.5.1开机程序： 确认实际电压与系统设定的工作电压相符合，确认所有的线缆都已正确连接，确保操作环境符合要求且防震台处于正常工作状态，确认没有任何障碍物阻碍样品台的移动，打开计算机和显示器， 打开vacuum 控制器打开Nanodrive控制器,在打开软件初始化完成即可，反正关机顺序相反。6.6使用设备及材料：乳胶手套、镊子、安装治具。6.7异常处理：6.7.1异常停电处理：设备所有电源开关关闭。待厂务正常供电，检查厂务二次配电源是否正常，若电源供应无问题，则机台依供电复机。机台复机完毕，依序对各机台进行操作及Test Run，确定机台正常后使可交予工艺/生产。6.7.2机台异常处理：现场操作人员须立即停止作业并通知其单位主管及设备工程师进行检查维修。设备维修完成后，需先Test Run后，使可交给产线。将维修过程详细填写于『芯片设备每日维修保养纪录表』。6.8参考文件：6.8.1设备保养计划表。6.8.2 AFM设备说明书。7.0.相关表单：7.1.1机台设备履历表。7.1.2 AFM保养记录表。