第五章-感光性高分子解决方案.ppt

1 概述 感光性高分子是指在吸收了光能后，能在分子 内或分子间产生化学、物理变化的一类功能高分子 材料。 这种变化发生后，材料将输出其特有的功能。 从广义上讲，按其输出功能，感光性高分子包 括光导电材料、光电转换材料、光能储存材料、光 记录材料、光致变色材料和光致抗蚀材料等。 其中开发比较成熟并有实用价值的感光性高分 子材料主要有光致抗蚀材料和光致诱蚀材料，产 品包括光刻胶、光固化粘合剂、感光油墨、感光涂 料等。 本章中主要介绍光致抗蚀材料和光致诱蚀材料。 感电子束和感X射线高分子在本质上与感光高分子相 似。 光致抗蚀，是指高分子材料经过光照后，分子 结构从线型可溶性转变为网状不可溶性，从而产生 了对溶剂的抗蚀能力。 光致诱蚀相反，指当高分子材料受光照辐射后 ，感光部分发生光分解反应，从而变为可溶性。 如目前广泛使用的预涂感光版，就是将感光材料树脂预 先涂敷在亲水性的基材上制成的。晒印时，树脂若发生光交 联反应，则溶剂显像时未曝光的树脂被溶解，感光部分树脂 保留了下来。反之，晒印时若发生光分解反应，则曝光部分 的树脂分解成可溶解性物质而溶解。 光刻胶是微电子技术中细微图形加工的关键材料 之一。近年来大规模和超大规模集成