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第8章 光刻工艺 第8章 光刻工艺 本章目标： 第8章 光刻工艺 一、概述 1、光刻的定义 2、光刻的目的 3、光刻的目标 4、光刻工艺步骤概述 第8章光刻工艺  一、概述 1、光刻的定义 第8章光刻工艺  一、概述 2、光刻的目的 第8章光刻工艺  一、概述 3、光刻的目标（教材P130最上部分） 第8章光刻工艺  一、概述 4、光刻工艺步骤概述（**） 第8章光刻工艺  一、概述 4、光刻工艺步骤概述（**） 第8章光刻工艺  一、概述 4、光刻工艺步骤概述（**） 第8章 光刻工艺 一、概述 4、光刻工艺步骤概述（**） （2）十步法 第8章 光刻工艺 二、光刻胶 1、光刻胶的组成、分类 2、光刻胶的参数 3、正负胶比较 4、电子抗蚀剂 5、X-射线抗蚀剂 第8章光刻工艺  二、光刻胶 1、光刻胶的组成、分类 第8章光刻工艺  二、光刻胶 1、光刻胶的组成、分类 第8章光刻工艺  二、光刻胶 1