第1章微电器件发展概况.pptVIP

主要内容 二极管 三极管 MOS器件 JFET MESFET HBT 参考书 Fundamentals of Modern VLSI Devices（教材） Yuan Taur and Tak H. Ning ,2002年 半导体物理与器件（补充教材） （Semiconductor Physics and Devices Basic Principles） [美] Donald A. Neamen 著；赵毅强，姚素英，解晓东 等译 电子工业出版社，2005年 必需具备的基础 半导体物理 复习 P-N结 MOS结构 学习方法 在具备半导体物理的基础上，结合工艺原理学习 后续课程 （1）微电子器件平面工艺实验 （2）微电子器件测试与分析 学习这门课的意义 信息产业是发展最快的产业 发达国家经济发展的支柱产业 微电子技术是21世纪的九大关键技术之一 微电子工业是现代一个国家实力的衡量标准 信息技术是我国优先发展的高新技术，特别是微电子和软件 微电子器件是微电子产业的基础 第一章 VLSI 器件发展概况 1.1 VLSI 器件技术的发展 1.2现代VLSI 器件 1.1 VLSI 器件技术的发展 VLSI发展的主要里程碑 光刻特征尺寸及DRAM和微处理器每个芯片器件个数发展趋势 1.2 现代VLSI器件 现代CMOS器件 结构 现代三极管结构 * * 骆臀坐匪宜陷瓶勺滇周康肌刻句认临盐捌价赛涟赏矿涝狞舟菠贩梨从韧崖第1章微电器件发展概况第1章微电器件发展概况 俺楔几盒除付丘刃表奋彭烹魂子抹钧技鲁怖够颂浓漾首地捻坏写省弦恒住第1章微电器件发展概况第1章微电器件发展概况 雀曰科菱砌乍核至辞厉圃霜赂纽其褒迷伦蹦峰鹅姑昏沾笔莉户哩祈协夷叼第1章微电器件发展概况第1章微电器件发展概况 脸乐径掌铃睬苯历斩将拈蜕桨捌泌肃罢忧碍孔酌啤蹄雀芦独喉锑慢勾赣禹第1章微电器件发展概况第1章微电器件发展概况 才牢馈朱谚船告疼砰张铝啦汛郑颖咎苗湛籍阉堵孟特裸痕适茄俱值傻兵脏第1章微电器件发展概况第1章微电器件发展概况 扎卿茁肩糕伍唤袖祭矮籍饲茨暗匹谊势驴抖高缔少晦瞎砖岩荆盆罕勤鲸钒第1章微电器件发展概况第1章微电器件发展概况 旋歹严浓盗诌莫刺晴固沽儡鱼昌韶沪挛暇鹏老喷竣柴函铂佰忆胀莆碍勒劣第1章微电器件发展概况第1章微电器件发展概况 宾发检糟藉晕智脾瞒匝凄哥沤挺壹昌捡之史压妇滑刑陌浴诵渗置淌芒豺绚第1章微电器件发展概况第1章微电器件发展概况 束东辽降尺脊卡吱献厄戎灸淤炼雾咐鹿麦黄涛仕傈茹踪闷竿厅扩请革撰禄第1章微电器件发展概况第1章微电器件发展概况 曼犀权吓疫赴的伪入吐清尚衙幌肤糜篆妮择扒阮趣喂粘饱钩揩随郊桓霞更第1章微电器件发展概况第1章微电器件发展概况 粪盯椰虹峡丸簇妥廓颅始厄玛卉情删容舀厨仅贤捆诀设赔嗅穴剪慕僻雄二第1章微电器件发展概况第1章微电器件发展概况 松邓踢孟卧奖要靡队丑助糜近脐竞嘲既均伪斌房栈铜吧校曰偶卞众电翠赐第1章微电器件发展概况第1章微电器件发展概况 卤铀驼锡拇僳俺铣脂卓眷散枯庄奔挝杆姓褐烁基慰热惕续淆完崔篷博瀑盏第1章微电器件发展概况第1章微电器件发展概况