雷尼绍XL80激光干涉仪操作手册技巧.docVIP

镭射干涉仪操作手册 手 册 内 容 一.RENISHAW 公司简介 1 二.镭射干涉仪原理 2 (1)波的速度 3 (2)干涉量测原理 3 (3)镭射干涉仪 4 (4)镭射干涉仪一般量测项目 4 三.注意事项 5 四.镭射干涉仪防止误差及保养 5 (1)镭射干涉仪防止误差 5 (2)镭射干涉仪保养方法 6 五.安全及注意事项 6 六.镭射光原理及特性 7 七.镭射硬件介绍 8 八.镭射架设流程图 15 九.定位量测原理及操作 16 (1)线性定位量测原理 16 (2)量测方式 17 十.镭射易发生之人为架设误差 20 (1)死径误差 20 (2)余弦误差 21 (3)阿倍平移误差 21 十一.镭射操作之步骤