气体纯化技术[精选].pptVIP

气体纯化技术 技术基于： Purification 基于“FAB”模式纯化所有的大宗气体（N2、O2、Ar、He、和CAD） 可以将纯度低于1ppb的气体纯度提高到0.1ppb 产气流量范围从10M3/hr到3000M3/hr。 对大量的特气也能纯化。 Pure Gas Technologies 吹扫/柜式纯化器 点使用式纯化器 区域纯化器 大型纯化器 Bulk Gas Purification Technologies 材料及操作原则 杂质去除 应用 Materials Getters: 均质金属（无支撑）：球状 锆、钒、钛 Supported Metals: 支撑性材料、反应金属：球状 铜、镍、铂、保护性物质 Zeolites： 均质金属：球状、分子筛 Operation 纯化进程 1、催化氧化 2、物理吸收 3、化学吸收 催化氧化 催化氧化进程：将甲烷、非甲烷碳氢化合物氧化CO2和H2O。 方法：催化器+加温+O2 保护性物质+铂，300~400℃ ，富氧环境 反应过程： 2H2+O2=2H2O 2CO+1O2=2CO2 1CH4+2O2=1CO2+2H2O 催化氧化 物理吸收 分子筛 优点： 1、能有效去除CO2与H2O（不去除O2） 2、筒室温度可控 3、进程在高温下完全可逆 缺