精选课件第十一章 半导体式物性传感器.ppt

第十一章　半导体式物性传感器 1970年，荷兰科学家研制出了对氢离子响应的离子敏感场效应晶体管，标志着离子敏半导体传感器的诞生。 由于电子技术的飞速发展，以半导体传感器为代表的各种固态传感器相继问世。这类传感器主要是以半导体为敏感材料，在各种物理量的作用下引起半导体材料内载流子浓度或分布的变化，通过检测这些物理特性的变化，即可反映被测参数值。 与各种结构型传感器相比，具有如下特点： 1）由于传感器原理是基于物理变化的，因而没有相对运动部件，可以做到结构简单，微型化。 2）灵敏度高，动态性能好，输出为电物理量。 3）采用半导体为敏感材料容易实现传感器集成化和智能化。 4）功耗低，安全可靠。 半导体传感器也存在以下一些缺点： 1）线性范围窄，在精度要求高的场合应采用线性化补偿电路。 2）与所有半导体元件一样，输出特性易受温度影响而漂移，所以应采用补偿措施。 3）性能参数离散性大。 虽然存在上述问题，但半导体传感器仍是目前传感器发展的重要方向，尤其是大规模集成电路技术的不断发展，半导体传感器的技术也日臻完善。  半导体传感器 第一节　气敏传感器 第二节　湿敏传感器 第三节 磁敏传感器 第四节　色敏传感器 第五节　离子敏传感器 第一节 气敏传感器 所谓半导体气敏传感器，是利用半导体气敏元件同气体接触，造成半导体性质变化，借此来检测特定气体的成分或者测量其浓度的传感器的总称。 一、气敏半导体材料的导电机理 图a为烧结体N型半导瓷的模型。它是多晶体，晶粒间界有较高的电阻，晶粒内部电阻较低。图中分别以空白部分和黑点部分示意表示。导电通路的等效电路如图b所示。 二、电阻型气敏器件 电阻型气敏器件在目前使用的比较广 泛。按其结构，可分为烧结型、薄膜型和厚 膜型三种 。 烧结型 这种器件一般分为内热式和旁热式两种结构,如图 1、2、4、5—电极　3—SnO2烧结体 1、2、4、5—电极　3—加热器 6—SnO2烧 结体　7—陶瓷绝缘管 内热式器件管芯体积一般都很小，加热丝直接埋在金属氧化物半导体材料内，兼作一个测量板，该结构制造工艺简单。其缺点是：①热容量小，易受环境气流的影响；②测量电路和加热电路之间相互影响；③加热丝在加热和不加热状态下产生胀、缩，容易造成与材料接触不良的现象。 旁热式气敏器件的管芯是在陶瓷管内放置高阻加热丝，在瓷管外涂梳状金电极，再在金电极外涂气敏半导体材料。这种结构形式克服了内热式器件的缺点，使器件稳定性有明显提高。 2. 薄膜型 薄膜型气敏器件的制作首先需处理基片（玻 璃石英式陶瓷），焊接电极，之后采用蒸发或 溅射方法在石英基片上形成一薄层氧化物半导 体薄膜。实验测得SnO2和ZnO薄膜的气敏特 性较好。 薄膜型器件外形结构如图所 示 1、2、5、7—引线　3—半导体 4—电极－6—绝缘基片　8—加热器 这种器件具有较高的机械 强度，而且具有互换性好、 产量高、成本低等优点。 3. 厚膜型 其结构如图所示 1—加热器　2—电极 3—气敏电阻　4—基片 此种元件一致性较 好，机械强度高，适于批 量生产，是一种有前途的 器件。 以上三种气敏器件都附有加热器。在实际应用时，加热器能使附着在测控部分上的油雾，尘埃等烧掉，同时加速气体的吸附，从而提高了器件的灵敏度和响应速度，一般加热到200～400℃，具体温度视所掺杂质不同而异。 气敏器件的优点是：工艺简单，价格便宜，使用方便；对气体浓度变化响应快；即使在低浓度（3000mg/kg）下，灵敏度也很高。其缺点在于：稳定性差，老化较快，气体识别能力不强；各器件之间的特性差异大等。 各种可燃性气体的浓度与SnO2半导瓷传感器 的电阻率变化的关系如图 第二节　湿敏传感器 一、绝对湿度与相对湿度 所谓湿度，是指大气中所含的水蒸气量。它有两种最常用的表示方法，即绝对湿度和相对湿度。绝对湿度是指一定大小空间中水蒸气的绝对含量，可用“kg/m3”表示。绝对湿度也称水气浓度或水气密度。 绝对湿度也可用水的蒸气压来表示。设空气的水气密度为ρv，与之相应的水蒸气分压为pv，根据理想气体状态方程，可以得出其关系式为