Tescan_LMU操作手册(泰思肯 SEM-EDS).pptxVIP

SEM管理者使用方法名：TESCAN VEGA3 LMHCCT连接主电源( 确认电压 220V )2。 N2 GAS, Air line VALVE OPEN确认 3.把PowerKey Switch按顺时针开启 到ON4.自动开机（蓝灯亮） (电脑主机自动连接，出现画面5.电脑主机自动连接，出现画面6.点Log in管理者ID后选择，密码 7。自动形成 SEM Self test 模式(10秒内自动检查之后，会自动进入 SEM Main画面 )出现问题时 会出现红色的标志出现的信息 会告诉你出现了什么问题 但只会出现英文把有问题的画面复制后 放在管理者的文件(file)夹里随时都可以自检点击在ＳＥＭ　ＭＥＮＵ信息栏里的帮助Send log file-? to file复制后 放在管理者的文件夹里（目的：为了检测设备使用的过程，三个月内一周储存一次，三个月后一个月储存一次，有问题出现时必须要储存。）点击在ＳＥＭ　ＭＥＮＵ信息栏里的帮助Send log file-? to file复制后 放在管理者的文件夹里打开Logs file：e-mail : mailto:tescan@tescan.co.krtescan@tescan.co.kr / mailto:sanghoon@tescan.co.krsanghoon@tescan.co.kr/mailto:stlee@tescan.co.kr/hbsim@tescan.co.krstlee@tescan.co.kr/hbsim@tescan.co.kr/jg-joo@tescan.co.kr/pwy@tescan.co.kr2011-03-11 04:01:56.737 [E] NanoStage is requested, but the initialisation FAILED!2011-03-11 04:01:57.267 [E] Selftest FAILED!制作ID:点击文件(FILE)里的ｕｓｅｒ　ｍａｎａｇｅｒ制作ID　user manger制作ID(NEW ID)制作ID cfg．file(电子显微镜的条件资料）点击ＯＫ就可以了。这个提示只有在第一次登陆ＩＤ时才会出现这个提示就是在自检(self test)　制作SEM Menu画面-制作像条件表 (image parameter)SEM图像参数基本选择画面窗口显示信息窗口显示信息样品室观察窗口打开(红外线照相IR Camera)制作SEM光学条件（只有制作了条件才能看到像)Load file:选项---〉Configuration-? La是否自动调节灯丝的中心位置SEM Main画面点击“抽真空”8。在真空(Vacuum)面板上点击右侧下端的 PUMP( Rotary pump 开始运行 生成 CoumnPressure（镜筒压力）的 红色条成7.4X10-2Pa后转换成 绿色条形成 高压HV Ready)9。点击 高压HV （真空Panel）面板中间的高压，发射电流（Electron panel)(自动形成heating 之后转换成 setting point，画面上会出现样品形象)点击 高压HV 10.在样品形象画面右击鼠标选择 “最小放大倍率”10.利用 NanoStage 单击鼠标移动样品位置(上下左右移动）（ 上下左右移动 ）11。右击鼠标选择 自动聚焦 (Auto WD) 12.点击Main 右侧 Infomation bar的 MAG后， Tracball 往左是低倍率，往右是高倍率。 (在高于需要照的倍数下 Focus之后选择需要照的倍数）自动聚焦 (Auto WD)方法1.自动聚焦 Resoution (扫描模式 )最小放大倍率”2.自动聚焦 X100~3003。自动聚焦 X1，000~3,0004。自动聚焦 X10，000~20,0005。手动聚焦 X50，000WIED FIELD (扫描模式 )无法自动聚焦手动聚焦要领方法 WD（工作距离） 滑动 Tracball 左.右调整工作距离聚焦双击左键，局部选择13. 在形象画面上右击鼠标后选择 Auto signa话画面会自动调节画面亮度 X50，000 以上 像散校正（stigmator)聚焦Tracball F12 key X(水平）， Tracball F11 key Y（垂直）方向像散校正（stigmator)聚焦Tracball F12 key X(水平）， Tracball F11 key Y（垂直）方向14.选择 Main右侧Infomation bar的Acugisition(image save)图标 利用 NanoStage 单击鼠标移动样品位置(上下左右移动)交换样品在样品形象画面右击鼠标选择 “最