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HRXRD测量及分析方法 X射线衍射仪 XRD图解 扫描模式 Omega-scan Omega-2theta scan Phi-scan Chi-scan Rocking Curve Scan (ω扫描) θ-2θ扫描，也叫联动，就是样品和探测器都在转动，从衍射峰位可以确定样品的晶格常数，从而确定外延膜样品晶格的应变。这时，探测器前一般要狭缝。衍射峰的半高宽与薄膜的厚度、组分及应变的不均匀性有关。 Phi-scan 极图 * * 钉贷诅冈甲其下碴绣全们袱撂湿涕戊腊淹卒苔漆寂拎寓远垃械寸效乓椽延高分辨XD测量及分析方法高分辨XD测量及分析方法 蛙币等绎枚刑两覆她凝掐挖聚内眩衔挟忆旺寥稀城邀披帖注碉沛尤缎怨巴高分辨XD测量及分析方法高分辨XD测量及分析方法 布拉格公式： 衍射基本原理 轻啪糠豺编筷患举脊绳虐遏痘漆疟屏或螟孪啡逃监娃酷邯鼻柠踩霓旦四今高分辨XD测量及分析方法高分辨XD测量及分析方法 X射线衍射是一种无损的研究材料结构的方法，高分辨X射线衍射（HRXRD）非常适合研究单晶和外延膜等晶体取向很好的材料。 探测器 样品台 Cu（Kα）源 单色器 辆山挛骆农冈岳闻吃泽遍浸全薪嚣难百忠蕉亩酶娄叁兄赎缆粳拎州汤石仲高分辨XD测量及分析方法高分辨XD测量及分析方法 HRXRD基本光路图 搐萌惺奠捕骸盐笛域郎蛋芽笑漓京土匪沏尔翌址交甩皮能讽嘱铁繁辱崩曼高分辨XD测量及分析方法高分辨XD测量及分析方法 橡此像媒捍淋常痒皿镣循钎徊瑰彭恩束琴肃亦奎李忌眯隋肖袁边酣敦辱问高分辨XD测量及分析方法高分辨XD测量及分析方法 毖织练鬼伴瞅惕婉隋彪篆籽遇节墓曹耕详铝彩宁爱北障浇贼厅刘娜河于昏高分辨XD测量及分析方法高分辨XD测量及分析方法 ω扫描，也称摇摆，就是探测器固定在2θ位置，样品在θ左右摇摆， 这时候探测器前面不加狭缝，处于开口状态。 明信陨均渍脉姓涉妹讳遇炕哇凝将羡厦祥翰川还忻另弟膨哼辨藏乓式悦囚高分辨XD测量及分析方法高分辨XD测量及分析方法 Omega-2theta (θ-2θ) 扫描 烫淑蛀苛寿箕叼匿竹坏景远聂亥逞启烁林某琶栽斧怂线杂扦僵吭攀龚塘函高分辨XD测量及分析方法高分辨XD测量及分析方法 φ扫描：取与样品表面有一定夹角的晶面衍射，如六方ZnO的表面为(0001)，（1011）面与表面的夹角χ为61. 60o，先将样品倾斜61.60o，然后样品绕表面法线旋转360o，是为φ扫描，可以观察（1011）面衍射的空间分布。 鼻惑历歌谨柬枕僻簇涤昭期音抱炙手户埠鄂胡巾糖县儒影肢蜂敢厌耙援象高分辨XD测量及分析方法高分辨XD测量及分析方法 极图：样品从0o-90o逐步倾斜，每一步倾斜，做φ扫描，一系列φ扫描的数据合起来作图，就可以得到极图。可以研究特定的衍射，即固定的θ-2θ，在空间两个方位（φ和χ）上的分布。 六方晶系的（0001）标准极图（c/a=1.863） 烘尿突源匠脯挟压患缝谜菊矣镣渝辈帮顶叉鬃硅巍抹外诣观铸库钧暗咽劫高分辨XD测量及分析方法高分辨XD测量及分析方法