第1章前言及传感器技术的现状及发展讲解.ppt

* 目前，直径约为1mm的智能微尘已经问世，智能微尘的外形及内部结构如图所示。未来的智能微尘甚至可以悬浮在空中几个小时，搜集、处理并无线发射信息。 智能微尘的外形及内部结构 a）肉眼所看到的智能微尘 b）智能微尘的内部结构 * 智能微尘还可以“永久”使用，因为它不仅自带微型薄膜电池，还有一个微型的太阳能电池为它充电。最近，美国英特尔公司制定了基于微型传感器网络的新型计算机的发展规划，也将致力于研究智能微尘传感器网络的工作。 * 4.3 生物芯片 西门子公司最近研制出一种能辨别气体及其味道的微型芯片传感器，可检测空气中臭氧含量，监测火灾以及气体泄漏。 * 生物传感器系统亦称生物芯片，它是继大规模集成电路之后的又一次具有深远意义的科技革命。 生物芯片不仅能模拟人的嗅觉（如电子鼻）、视觉（如电子眼）、听觉、味觉、触觉等，还能实现某些动物的特异功能（例如海豚的声纳导航测距，蝙蝠的超声波定位，犬类极灵敏的嗅觉，信鸽的方向识别，昆虫的复眼）。 生物芯片的效率是传统检测手段的成百、上千倍。 * 德国英飞凌（Infineon）公司最近开发出具有活神经细胞、能读取细胞所发出电子信息的“神经元芯片”，芯片上有16384个传感器，每个传感器之间的距离仅为8μm。 当人体受到电击时，利用它可获取神经组织的活动数据，再将这些数据转换成彩色图片。 * 传感器 敏感机理 敏感材料选择 结构设计 工艺优化 五、传感器研究方法 * 传感器研究思路 研究传感器，首先得从研究敏感材料入手，研究敏感材料对外界物理、化学变化的敏感特性，包括响应时间，变化规律，以及外界其他物理、化学环境变化对敏感材料敏感特性的影响 设计合适的传感功能结构。考虑将敏感材料镀在什么样的器件结构上才使得敏感材料能够发挥好其敏感特性 制备工艺的研究 后端对信号的处理电路，包括放大电路、滤波电路等。 * 六、电子科大传感技术部分研究成果 * 研究方向动态 有机敏感电子学 有机材料 敏感电子学 电子聚合物：在电子学领域应用的有机聚合物及其复合材料 * 新型敏感材料发展动态 无机敏感材料 需加热器 灵敏度差 响应慢 有机敏感材料 无需加热器 灵敏度高 响应快 * 重点研究领域 化学传感器 线性湿敏传感器 非线性湿敏传感器 电子聚合物 湿度传感器 电子聚合物 气体传感器 二氧化氮气体传感器 氨气敏传感器 生化毒剂传感器 * 创新性成果1 电子聚合物线性耐高温湿敏传感器 建立了聚酰亚胺（PI）膜对H2O物理吸附的H键模型 确立了PI基耐高温线性湿敏传感器的应用技术依据 提出了基本型电容式器件结构 全湿线性检测、 响应快 机电部科技进步二等奖 * 创新性成果3 采用化学氧化聚合和电化学聚合法合 成了聚苯胺自组装所需原材料 提出了采用掺杂诱导沉积法制备聚苯 胺自组装超薄复合敏感膜 设计了平面梳状电极结构 研究了NO2气体传感器敏感特性及机理 研制出了具有体积小、响应快、常温下使用的 NO2 气体传感器。 四川省科技进步二等奖 电子聚合物自组装超薄膜NO2气体传感器 * 创新性成果4 提高了气体传感器 的灵敏度及选择性 确定了双酞菁有机物作为敏感材料 采用微机械加工技术、设计和制备了气体传感器阵列器件结构 采用模糊神经网络分析技术进行数据采集和处理 电子聚合物微集成气体传感器阵列 * 国内率先开展柔性无机薄膜电子传感电极的单位：清华大学（与美国西北大学、伊利诺伊大学合作） 可延展柔性LED 可延展柔性无机电子器件的转印实现方法 柔性电极传感器 * 本章小结 概念:传感器、传感器技术, 问题1:传感器技术的发展动向表现在哪几个方面？传感器的发展方向表现在哪几个方面？ 问题2:传感器研究的基本思路是怎样的？ 问题3:传感器的基本构成型式有哪几种？试画图并简要说明各自的特点。 * * 传感器的基本构成（6种） 采用两个原理和性质不相同的转换元件，且不一定置于同一环境处， 其中一个接受信号，并已知其受环境影响的特性，另一个接受环境影响量，并通过电路向前者提供等效的抵消环境影响的补偿信号 如采用热敏元件的温度补偿，采用压电补偿片的温度和加速度干扰补偿等。 不同传感器的补偿型（ 6? 6） 敏感元件 敏感元件 电源 输出 输入 环境量 转换电路 * 传感器的分类 分类方法 说 明 举 例 按输入量分类 传感器以被测物理量分类，也即按用途分类，便于用户选择。 位移传感器、速度传感器、温度传感器、压力传感器等 按工作原理分类 （变换原理） 传感器以工作原理命名， 便于生产厂家专业生产。 应变式、电容式、电感式、压电式、热电式等 按物理现象分类（信号变换特征） 结构型 传感器