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溶胶-凝胶法制备薄膜材料研究进展 闵杰 材料科学与工程学院 材料1003班 学号：0607100313 【摘要】溶胶-凝胶法是制备薄膜的一种重要方法。综述了溶胶-凝胶法制备铁电薄膜的原理、工艺过程、特点和采用此方法制备出的某些材料的铁电性能。最后指出, 溶胶-凝胶法制备铁电薄膜工艺仍需优化和改进, 薄膜的质量急待提高, 以适应器件的要求。 【Abstract】Sol-Gel method is an important method for preparation of thin fimls. Not only the principle, techno logy and peculiarities,but also ferroelectric properties of some materials prepared by sol- gel were reviewed. In the end, it is pointed out that the process of sol- gel should still be optmi ized and developed and the quality of ferroelectric thin films needed to be improved urgently, so as to adapt the requirement of devices. 【关键词】溶胶-凝胶 薄膜材料 【Key words】Sol-Gel thin-film material 通过电子信息材料这门课程的学习，我了解到电子信息材料作为新兴的产业极有可能成为今后国家大力发展的新材料方向。通过课堂学习及课外文献检索，发现了各式各样的功能材料如压电和铁电材料以及集成电路和半导体等电子信息材料等。新型电子元器件用材料向着小型化、片式化方向发展。通过该课程的学习，丰富了对材料学科的认识并大致了解了该行业的发展目标和方向。在大量文献阅读后，我不禁在思考：材料是如何制备、加工及成型等问题，借此机会我调研了相关溶胶-凝胶制备纳米级粉末的方法。众所周知，在运用粉末冶金方法制备材料时“如何制作材料的粉体”尤为关键，如何制得纳米颗粒大小的颗粒成为重要的研究方向。通过对比机械合金化、化学共沉淀法、PVD、CVD及溶胶-凝胶法后，发现溶胶凝胶法较为简单、实验设备简易、运用广泛，联想到或许在将来的课程设计中会使用该方法，于是我查阅文献，整理出溶胶-凝胶法制备薄膜材料的方法及其进展。下文为经过整理后的一篇综述性质的溶胶-凝胶制备粉体方法。仓促整理可能不够完善，希望老师指点。 利用溶胶和凝胶制备单组分化合物的现代溶胶凝胶技术的研究始于 19 世纪中叶，但由于凝胶易碎性限制了该技术的应用。19 世纪末至本世纪20年代，凝胶中产生的 Liesegang环现象导致大量学者开始对溶胶-凝胶过程中周期性沉积现象进行研究，但对溶胶-凝胶过程的物理化学特性未予足够重视。直到五六十年代，Roy 等[1]才注意到溶胶-凝胶体系高度的化学均匀性，并成功地用此方法合成了大量用常规方法所不能制备的新型陶瓷复合材料。自从 1971 年德国 Dislich 报道了通过溶胶-凝胶技术制得多元氧化物固体材料以来，溶胶-凝胶技术引起了材料科学家极大的兴趣和重视，发展很快。 到六十年代末期和七十年代早期，由于电子学、通讯技术、能源技术及其他高技术领域对新材料的要求越来越高，溶胶-凝胶技术开始进入突飞猛进的发展阶段。从 80 年代初期开始，Sol-Gel 技术即广泛应用于铁电材料、粉末、纤维、薄膜及其它复合材料的制备，进入了其应用发展的高峰期。 溶胶-凝胶技术之所以越来越引人注目，是因为它具有其它一些传统的无机材料制备方法无可比拟的优点：产品的均匀度高、纯度高、种类多及操作温度低成为固体材料制备的主要方法[2]。 1.Sol-Gel法的基本原理及特点 1.1基本原理 溶胶 - 凝胶法是指有机金属化合物或无机盐经过溶液、溶胶、凝胶而固化, 再经热处理而成为氧化物或其他固体化合物的方法。溶胶 -凝胶法的工艺原理是[3]: 以液体化学试剂配制成金属无机盐或金属醇盐的前驱体, 前驱体溶于溶剂中形成均匀的溶液 (有时加入少量分散剂 ), 加入适量的添加剂使盐水解、醇解或发生聚合反应生成均匀、稳定的溶胶体系, 再经过长时间放置 ( 陈化 ) 或干燥处理使溶质聚合凝胶化, 再将凝胶干燥、焙烧去除有机成分, 最后得到薄膜材料。因此, 也有人把溶胶 - 凝胶法归类为“前驱化合物法”。 根据原料不同, 溶胶 - 凝胶法可分为两类, 即水溶液法和醇盐法[4]。相比而言, 后者更为多见。 水溶液法[4]的原料是一般的金属盐水溶液, 其溶胶的形成主要由金属