X1.3OHP for ESD.pptVIP

靜電是如何產生的？ 靜電是由兩樣物件一經接觸磨擦, 然后分開而產生. 靜電是如何產生的？ ?當一物體與另一物體互相分離時則能產生靜電. 原因是: 1.其中一物體的陰電子會被另一物體挾持去,因而缺 少了陰電子.則稱之為“陽”電體. 2.另一物體因奪取了額外的陰電子則稱之“陰”電體. 3.帶“陰”或“陽”電的情況如發生在非導電體(絕緣 體)上時.因不平衡的電子不容易流散,而只停滯於 物體表面.稱之為“靜電”. 摩擦電荷的產生 ?靜電的產生,最容易者莫過于摩擦生電。其所產生的電荷稱為“摩擦電荷”. 感應電荷的產生 ?對導電材料,因電子能在它的表面自由流動,所以有其它兩種方式可另其上產生靜電電荷.第一種由感應造成,機理作用示于下圖: 感應電荷的產生 第二種途徑是從一有電荷的導體中將電荷轉換.見下圖所示： 感應電荷的產生 靜電的量度單位 ESD是什么? ESD的三種型式 就工業上發現ESD基本上有3種型式,它們 會引起 ESD敏感的裝置的降質或損壞. ?人體型式； ?微電子器件帶電型式； ?場感應型式。 ESD的三種型式 ?人體型式 1.指當人體活動時身體和衣服之間的摩擦 產生摩擦電荷. 2.若人們手持ESD敏感的裝置而不先洩放 電荷到地,摩擦電荷將會移向ESD敏感 的裝置而造成損失, 3.微電子器件的主要破壞都是由于此型式 所造成。 ESD的三種型式 ?微電子器件帶電型式: 指這些ESD敏感的裝置,尤其對塑料件,當其在自動化生產過程中,會產生摩擦電荷,而這些摩擦電荷通過低電阻的線路 ,非常迅速地洩放到高度導電的牢固接地表面,因此造成損壞。 ESD的3種型式 ?場感應型式: 指有強電場圍繞,這可能來此于塑性材料或人的衣服,會發生電子極化跨過氧化層。若電位差超過氧化層的介電常數,則會產生電弧以破壞氧化層,其結果為短路。 ESD的3種型式 靜電電荷對微電子工業的影響 由靜電電荷所形成的主要問題是: (1)微污染。 (2) ESD失效。 靜電電荷對微電子工業的影響 1.微污染 晶片本身或空氣中的灰塵粒子帶有電荷,在它附近即會出現一個電場,靠近這些材料將被感應由此而被極化(見圖),庫倫力F即會出現并將它們拉在一起 , 靜電電荷對微電子工業的影響 2.ESD失效 ESD問題，是因為在放電的時候，放電電流主要通過低的電阻率範圍，其數量以下式表示: Δq I = 式中I為放電電流. Δt q為電荷傳導的數. t為放電時間(秒). 靜電電荷對微電子工業的影響 ? 通常,一次放電能在1毫秒內完成.因此,電荷傳導越高,放電電流越強.由此而產生的熱量為: E(H) ΔI2 此即當有強的放電電流時所產生的熱能也就高,在微型集成電路片(IC)中,可造成: ?：熱擊穿 ------- P-N介面的破壞。 ?：介電擊穿 ----- 氧化層的破壞。 ?：金屬汽化 ---- 金屬線被汽化而成短路。 潛伏性的ESD問題 什麼是潛伏性的ESD問題? ? 有些時候ESD并沒有把半導體元件完 全破壞,而只把元件某部分的品質降 低,這一現象便稱為「潛伏性的ESD問 題」。 潛伏性的ESD問題 ?從事ESD敏感性半導體者應留意以下几點： 1.「潛伏性的ESD問題」不一定要透過人體與半導體元件的直接接觸.它可以在任何場合如:生產、測試等都有機會發生. 2.「潛伏性的ESD問題」將會累積起來而加深其嚴重性.已產生了的潛伏性問題并無任何方法可把它治愈. 3.在運送ESD敏感元件的過程中,更加沒法估計產生「潛伏性的ESD問題 」的可能性。 潛伏性的ESD問題 4.「潛伏性的ESD問題」表面看來只影響了制成品的用家,但實際上亦影響了各層次的制造商，如保用費、維修及公司的聲譽等等。 5.「潛伏性的ESD問題」在至今的科技仍未有辨法透過某些的測試把已含有此類問題的元件找出來。 6.請注意,已完全受到破壞的元件,可以在工廠內透過各種測試可以輕易地把它找出來,但已有「潛伏性的ESD問題」的元件,未必能透過高溫測試把它找出來。 靜電敏感元件 有些元件很容易被靜電所傷害,稱之為“靜電敏感元件”,必須在設有“防靜電”之設備環