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共面介质阻挡放电中阳极条纹PIC/MCC研究 何锋，冯硕，欧阳吉庭，缪劲松 （北京理工大学理学院物理系 北京100081 ） 摘要：本文采用粒子网格-蒙特卡罗碰撞（PIC/MCC）方法对共面介质阻挡放电(DBD)的放电过程进行了研究. 通过模拟获得了放电过程中空间电荷、电子能量和激发态粒子的时间空间分布。模拟结果表明，在共面DBD的暂态放电中，阳极条纹的形成和发展是电子的非局域效应和阳极介质层表面电荷积累共同作用的结果。电子非局域效应使得在空间形成局域的电离和激发，产生发光条纹，而介质层表面电荷积累形成新的离子条纹和条纹电场，从而发展新的条纹。 关键词：介质阻挡放电; 阳极条纹; PIC/MCC 1. 引言 条纹是气体放电中的一个重要现象，其特征为在正柱区沿电场方向出现强弱相间的周期性发光条纹[1]。很早人们在低气压惰性气体（ 1torr）直流辉光放电中观察到了条纹现象。直流放电中的条纹有移动条纹和固定条纹两种。固定条纹可以在放电中直接观察，一些分子气体（如He，N2，O2）及惰性气体等的放电中可出现这种条纹。移动条纹通常存在较高的速度，大约几十到几千m·s-1的速度，一般不能被直接观察到。作为等离子体非线性特性的表现形式，条纹一直是非线性的一个重要研究对象[2]。 直流放电中的条纹通常被解释为一种电离波或离子声波[2-5]。在弱放电条件下（电流10mA），这种波的产生机理被认为是由于气体分子分步电离导致的放电不稳定性[2]。在弱电离过程中电子在电场中的能量平衡主要由非弹性碰撞控制，包括与气体分子的激发和电离。发生分步电离的粒子具有较高的激发阈值εexc和较低的电离阈值εi。电子从电场获得能量，发生激发碰撞损失能量，激发态粒子进一步与低能电子或其他激发态粒子发生碰撞，即可发生电离。以均匀电场为例，电子通过一定的距离λ，获得的能量足以激发原子，因此产生条纹必须满足λε=εexc/eE。然而，这种控制机制不足以解释气体放电中各种条纹的形成，移动等现象. 近来，人们在介质阻挡放电（Dielectric Barrier Discharge，DBD）中也观察到了条纹现象。如在等离子体显示板（PDP）单元的微放电过程中，出现一种阳极条纹现象。对等离子体显示屏中的条纹现象，已经存在不少实验研究工作。如S. Zhang[6], M. Sawa[7], Th. Callegari[8], J. Ouyang[9]等观测PDP放电时，都获得了阳极条纹现象。近来人们更多地倾向于利用数值模拟来研究DBD条纹形成的原因。Iza等通过模拟认为表面电荷作为条纹形成的必要因素[10]。Shvydky等则认为PDP中阳极条纹的形成与阴极电离波的传播无关[11]。 本文主要通过PIC/MCC方法对介质阻挡放电过程进行模拟，获取放电过程中条纹的发展演化过程及此过程中物理量的变化。分析了共面结构中条纹的产生与电荷、电场的关系，并研究了条纹产生过程中电子能量的变化情况。 2. 模拟模型及方法 本文所模拟的结构如图1所示，该结构为一个PDP单元的沿着寻址电极的剖面图. 整个结构分由上下两层介质，介质层间为放电空间。介质外侧制作有寻址电极和共面电极，在共面电极的介质层内侧表面制作有一层0.5 ?m MgO，用以提高二次电子发射系数，降低放电电压. 寻址电极介质层上覆盖有荧光粉，转换真空紫外线到可见光. 单元的长度（即寻址电极长度）L = 900 μm，两介质层间的距离H = 100 μm. 共面电极的宽度w =300μm，两电极之间的间距d = 80 μm. 对两介质层的厚度，由于MgO很薄，厚度不需要考虑，而寻址电极上的介质层和荧光粉可视为一层介质，因此模拟中设两介质层厚度均为e=30 μm，相对介电常数εr=8.放电气体为纯Ne或Ne/Xe的混合气体. Ne离子和Xe离子在MgO表面的二次电子发射系数分为0.5和0.05 PIC方法的基本方程为描述电磁场的Maxwell 方程和描述带电粒子运动的Newton- Lorentz方程. 由于所考虑的DBD放电较弱，电流比较小，因此不考虑磁场，而只考虑静电场作用。空间的电场分布由泊松方程给出[12] 其中，ε为介电常数，E分别为电场强度，ni为第i种带电粒子的密度，qi第i种带电粒子的电荷. 粒子的运动方程为 其中，m、r、v 分别为粒子的质量、位移和速度.模拟过程中，由若干具有相同位置和速度的实际粒子组成构成宏粒子，对宏粒子的运动方程进行求解，获得位置和运动速度. 在对气体放电过程，采用蒙特卡罗碰撞（Monte Carlo Collision，MCC）来模拟带电粒子、气体原子之间的碰撞，碰撞截面数据取自文献[13]。 考虑到实际放电板中多个单元连续排列，因此在模拟中，对结构左右两侧采用对称边界