奈米机电系统-高雄第一科技大学.pptVIP

第四章 微奈米機電工程 4.1 前言 機電系統 最早有紀錄的機電系統儀器，是在1785年時由Charles-Augustine de Coulomb建造用來量測電子電量。他的電扭矩平衡包含了兩個球型金屬球，一個是固定的，另一個則是沿著一根桿移動，這機構的運作有點類似電容板。此例子說明了，大多數機電系統裡兩個常見的基本原件：一個機械原件和一個感測器（transducer)。 微機械電子系統 (微機電)Micro-Electro-Mechanical-System (MEMS) 4.2 微機電系統 MEMS的發展由來，根源於1960年代中期利用半導體製程，製造機械結構於矽晶片上的概念後，吸引了許多人投入該技術的研究。 到了1970年代中期，利用該製造技術，結合機械和電子元件的半導體感測器，成功地開發出來。 1980年後，研究內容也不侷限於感測器，還包含一些複雜的機構與元件，如幫浦、閥門、齒輪、馬達、夾子等等。研究目標已訂在發展一個完整的微型系統，包含感測、致動、訊號處理、控制等多項功能的系統，例如微型機器人和微型硬碟機。 一般而言，對於能夠把每個微結構元件或系統本身尺寸定義在微米範圍，或是微結構的機械運動範圍，能夠達到微米的精準度或位移量，在這樣的精度與尺寸範圍內的微元件，我們皆可以稱之為微機電元件，而把這些微機電元件與其他周邊IC組成的系統稱為微機電系統。 微機電系統的特性與優點