奈米定位技术-高雄第一科技大学.pptVIP

第三章 奈米定位、量測與製造 3.1 前言 積體電路 光纖 國內產業之研發方向 3.2 奈米定位(1/2) 奈米定位(2/2) 定位系統的構成要素 感測器的種類 奈米定位技術上的應用實例 (1/5)壓電致動器 耦合式的致動器 壓電的缺點 解決方法 壓電方程式 奈米定位技術上的應用實例 (2/5)壓電元件與氣壓缸所構成之致動器 奈米定位技術上的應用實例 (3/5)壓電元件與音圈馬達所構成之致動器 奈米定位技術上的應用實例 (4/5)壓電元件與彈簧所構成之微動檯 移動檯的模型示意圖 作動步驟 奈米定位技術上的應用實例 (5/5)壓電元件與彈簧所構成之自走式微動檯 機構之微型化轉換 3.3 奈米量測 原子力顯微鏡技術 單一分子量測 3.4 奈米製造(1/2) 奈米製造(2/2) 微熱壓成型 (2) 微射出成型 3.5 工程產業實例 常用以製造塑膠微形元件，亦是微機電領域已經進行的量產技術。然而，陶瓷材料由於熱塑流變性不佳，通常無法直接成型，須加入高分子塑料（例如：PP，PE），才能經由高分子熱塑性質，進行精密射出。奈米陶瓷微形元件製造技術，將不僅擴展微機電產業加工技術，也有助於了解材料塑性成型行為的極限。奈米陶瓷微形元件製造技術，將跨入奈米級(100 nm)陶瓷粉體，研發具精密奈米級尺寸之陶瓷元件成形技術。 金屬材料在晶粒尺寸達到微米級(10 μm)時，即具有超塑性，