激光测量技术第四章 激光准直及多自由度测量（参考）.pptVIP

2006年3月6日星期一 二维PSD 2006年3月6日星期一 c. 光电倍增管 对于弱光,常采用此法 2006年3月6日星期一 d. CCD 线阵CCD 一维测量 面阵CCD 二维测量 特点: 可采集光斑的大小,及其能量分布, 计算机识别能量中心的位移大小及方向 2006年3月6日星期一 第三节 大气扰动及激光束漂移 大气挠动的静态模型: 实际大气存在: 气流,温度梯度等,使空气密度变化,从而折射率n变化 实际空气折射率变化一般用结构函数来表示: 经验与理论公式: Cn称作l0到L0区间的结构参数．是折射率起伏变化的描述，它与大气参数如热流、风速,高度有关。l0为最小非均幻旋涡的尺寸，典型值为1-10mm、；L0为最大非均匀尺度，它和离地面的高度有关，近地表面处的干扰要大一些。 2006年3月6日星期一 第三节 大气扰动及激光束漂移 克服大气挠动的方法主要有: 机械法 光学法 机械法常用: 1)选择空气扰动最小的时间工作，如在早晨太阳升起之前。另外，控制外界环境也能起到一定作用，如在光束传输路程上避免有热源和温度梯度及气流等的影响 2)将光束用套管屏蔽，甚至将管子内抽成真空 3)沿着激光束前进的方向以适当流速的空气流喷射，因为空气流提高空气扰动的频率，可用时间常数比较小的低通滤波器，消除输出信号的交变成分。 4)对频率为50—60Hz的扰动可采取积分电路消除 2006年3月6日星期一 光学法 2006年3月6日星期一 光学法 2006年3月6日星期一 第四节 激光淮直测量的应用 应用场合: 测绘 建筑施工 大型设备安装 仪器设备制造 形位误差测量 误差修正 2006年3月6日星期一 一、直线度测量 2006年3月6日星期一 二、同轴度测量 2006年3月6日星期一 三、用激光准立仪制导镗内孔 生产上自动控制 2006年3月6日星期一 第五节 激光多自由度测量技术 多自由度测量的必要性: 1. 空间物体的姿态: 飞机、火箭等风洞实验 2. 机器运动部件的装配、运行精度： 导轨精度 3. 空间吊装的运动轨迹误差 2006年3月6日星期一 需要测量的参数 主要测量参数: Δx , Δy, Δz: 平动测量参数 Δθx, Δθy, Δθz: 转角测量参数 注： 各角度方向自由度的命名，以其主要运动方向而言 2006年3月6日星期一 一、多自由度测量系统的划分 一般根据测量的自由度的数量划分： 两自由度测量系统 四自由度测量系统 五/六自由度测量系统 测量滚转角 2006年3月6日星期一 二、两自由度测量系统 测量的原理： 激光准直仪 测量的参数： 一般为Δx，Δy两者或者其一 光电探测器： 硅光电池： 四象限器： Δx，Δy 二象限器： Δx或Δy 光敏电阻： 一般电桥式Δx或Δy CCD：线阵 Δx或Δy 面阵： Δx，Δy Δθ？ 2006年3月6日星期一 二、两自由度测量系统 结构类型： 平面式 反射式 X,y是单纯平动引起吗？ 2006年3月6日星期一 三、四自由度测量系统 测量原理同前 测量参数：Δx，Δy， Δθx，Δθy 测量的结构类型主要有： 中心孔式 2. 分光式 3. 反射式 2006年3月6日星期一 四、五/六自由度测量系统 1. 五自由度 Michigan 2006年3月6日星期一 2. 六自由度测量系统 Nihon 和Sophia 2006年3月6日星期一 3. 全息法测量5自由度 2006年3月6日星期一 3. 全息法测量5自由度 用于风洞天平体轴加载的自动校测等方面。在激光光源距靶标1m范围内，该系统的线位移测量精度为±4um，偏摆、俯仰角的测量精度为±5，但该转角的测量精度较低. 2006年3月6日星期一 五、磁光调制测量滚转角 法拉第旋光效应: θ=VLH 测控教研室 * 2006年3月6日星期一 第四章 激光准直及多自由度测量 2006年3月6日星期一 第一节 准直测量原理 直线度是指一系列的点列或连续表面对于几何直线的距离. 直线度测量是平面度、平行度、