第2章 MEMS设计中的尺度效应课件精品.pptVIP

第2章 MEMS设计中的尺度效应 尺度的基本概念 刚体动力学中的尺度 静电力中的尺度 电磁力中的尺度 电学尺度问题 流体力学的尺度问题 热传递的尺度问题 尺度问题的基本意义 本章介绍尺度的目的在于提供一些可供选择的尺度规律，使设计者意识到缩小机器和器件尺度所带来的物理后果；并使其明白，一些微型化在物理上是行不通的，或者在经济上是没有意义的。 用于微系统的设计尺度规律 第一种规律是严格依据物体的尺寸，如几何结构的尺度。这类物体的行为由物理定律所决定。 第二种尺度规律涉及微系统的现象行为尺度，考虑到系统的尺寸和材料特性。 微系统设计中常涉及的物理量： 体积 表面积 体积与器件的质量和重量有关 表面特性与流体力学中的压力和浮力有关,与对流热传导中固体热吸收和耗散有关 在一个尺度减小的过程中，同等地减小一个物体的体积和表面积是不可能实现的。 下图是一个实心长方体的例子。abc，体积V=abc，表面积S=2×(ac+bc+ab)。如果l 代表一个固体的线性因次，那么体积V∝l3 ，表面积S∝l2 ，可得 例题6-1 计算当尺寸减小50％的情况下转动微镜所需扭矩的减小量。镜的安装和尺寸如图6-3所示。 解： 沿y-y轴转动微镜所需的扭矩与微镜的质量惯性矩Iyy有关，表达式为： 当尺寸减小50％时，镜子的惯性质量矩为： 2. 刚体动力