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天津大学 博士学位论文 三坐标测量机动态误差补偿的研究 姓名：董晨松 申请学位级别：博士 专业：测试计量技术仪器 指导教师：张国雄 1999.6.1  摘要 泛的应用。高速测量是三坐标测量机的发展趋势。为了在提高测量速度的同时 本文首先对三坐标测量机动态误差作了系统的分析。详细阐述了三坐标测 量机动态误差的来源、构成及大小等。 本文对气浮轴承的特性进行了分析并提出了基于有限元法的数值计算方法。分 别对几种气浮轴承的特性进行了计算。在此基础上，提出了优化轴承特性的方 法。在此基础上，对气浮导轨系统的特性进行了理论分析，讨论了轴承特性和 除了气浮导轨系统外，三坐标测量机本身的结构也会带来动态误差。本文 对移动桥式结构的变形进行了分析，指出了主要的弱刚度部件。提出了改进测 量机机构设计的方法。 ， ， 的触发测量过程进行了分析并对动态误差进行了实际测量。，从测量结果分析得 出测量机运行中各参数对测量动态误差的影响。在此基础上：、用?神经网络 对触发测量的动态误差进行了建模。用所建立的模型对动态误差进行了预测。 对软件补偿的方法进行了探讨，为三坐标测量机的动态误差补偿提供可行方 法。’、、．。 本文的主要创造性工作为： ， 中，惯性力作用在移动桥架上；由于机体和气浮导轨系统的有限刚度将使 移动桥架产生相对于气浮轴承联结处的偏转和移动桥架本身部件的弯曲和 扭转。研究了这些偏转、弯曲、扭转对测量的影响。指出这些误差和测量 机组成部件的自激振动、受迫振动等将对测量结果产生影响，引起动态误 左。，?? ?’在对三坐标测量机的气体润滑系统的特点和基本原理进行分析的基础上， 结合生产厂家的实际设计和制造情况，对气浮轴承的特性进行了分析并提 出了基于有限元法的数值计算方法。佣这种方法，分别对??三屯标测 量机几种气浮轴承的特性进行了计算和简单的优化。实验表明，轴承的优 化收到了明显的效果。在此基础上提出了改进气浮导轨设计的方法一～ ?．对测量机各部位的偏转角误差进行了测量，并用有限元法对三坐标测量机 刚度部件。综合理论和实验的结果，得到由单侧驱动的移动桥式结构决定 了机体本身的动态弯曲和扭转是相当大的；与由气浮导轨的弱刚度造成的  霹 关键词：三坐标测量机动态误差气浮轴承气浮导轨有限元法触 发测量?蚕虼ú?神经网络误差补偿  ???? ???????? ????．?? ????? ?? ????????? ???? ??? ? ???? ????????? ????? ?????? ??? ???? ???? ? ?????? ? ???． ???? ? ???? ? ????甤?????? ??? ??? ??? ? ? ? ???? ???? ??? ??? ? ???? ? ? ??、? ?????甌? ???? ?? ? ????? ?? ? ???? ? ? ?? ? ???? ???? ?????? ???? ? ?? ? ? ??????甌? ? ???? ???? ? ? ?? ??? ? ?????? ??? ??? ????? ? ?? ? ? ??? ? ? ???畉??? ?? ? ??? ??? ? ????． ???? ??? ?? ???? ? ? ????? ? ??? ? ????? ????瓸?? ???畉? ???? ????甌? ??? ? ?? ???甌? ??? ???? ? ? ?????? ??????????． ???? ?? ????： ? ? ? ?? ? ?? ??? ??? ???? ?? ? ? ???? ??? ? ? ? ??? ??? ，?????? ???? ????? ? ??? ? ??? ? ???? ???????? ?? ? ??? ?? ??????????? ?????甌?? ??????? ???????? ??? ????琣? ??? ?甌? ? ?? ? ??? ????? ? ?? ? ? ?? ???? ? ? ??? ????? ? ???? ???? ???? ???? ??? ? ??????甌? ? ? ?? ?? ? ??????? ??  ? ?????? ? ?? ? ? ???? ? ?? ???? ? ? ? ????? ??? ????? ????鰐???甌? ?? ??????? ????? ? ?? ????? ?? ? ? ?? ? ? ??? ??? ??????? ?? ??? ? ?????? ?? ? ? ? ? ?甌? ??? ????猼??? ? ??? ???? ????．?? ??? ? ??? ????? ? ? ???畉? ???? ?? ????甌? ??