物理气相沉积具有适用的基体材料和膜层材料广泛;工艺简单、省材料、无污染;获得的膜层膜基附着力强、膜层厚度均匀、致密、针孔少等优点。 广泛用于机械、航空航天、电子、光学和轻工业等 离子镀产品 领域制备耐磨、耐蚀、耐热、导电、绝缘、光学、磁性、压电、滑润、超导等薄膜。 2、化学气相沉积(CVD) 化学气相沉积是指在一定温度下,混合气体与基体 CVD设备 表面相互作用而在基体表面形成金属或化合物薄膜的方法。 例如,气态的TiCl4与N2和H2在受热钢的表面反应生成TiN,并沉积在钢的表面形成耐磨抗蚀的沉积层。 由于化学气相沉积膜层具有良好的耐磨性、耐蚀性、耐热性及电学、光学等特殊性能,已被广泛用于机械制造、航空航天、交通运输、煤化工等工业领域。 经CVD处理的模具 经CVD处理的活塞环 三、三束表面改性技术 三束表面改性技术是指将激光束、电子束和离子束(合称“三束”)等具有高能量密度的能源(一般大于103W/cm2)施加到材料表面,使之发生物理、化学变化,以获得特殊表面性能的技术。 激光束加工 电子束加工 等离子束加工 本章小结 钢在加热时的组织转变; 共析钢(亚共析钢、过共析钢)过冷奥氏体等温转变产物的组织和特征; 等温转变的C曲线和连续转变的CCT曲线的差别及应用; 各类热处理的特点及应用。 * 原因:能量和成分 2.方式 (1)高频感应加热 频率为250
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