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第十三章 电子探针显微分析 材料成份分析的经典方法：化学分析方法 特点: 历史悠久，分析精度高，一个独立学科。 缺点：样品需破坏，分析时间较长，不能进行微区分析。 材料成分分析的最常用方法：物理分析方法 特点： 1）非破坏的方法 2）绝大多数物理分析方法的分析区域很小 3）物理分析方法多为表面分析方法 4）分析速度快 5）灵敏度高，可测出痕量元素。 常用成分分析所用仪器 电子探针显微分析仪（EPMA） 离子探针分析仪（IMA或SIMS） 俄歇能谱仪（AES） X射线光电子能谱仪（XPS） X射线荧光探针仪（XRF） 1 电子探针 定义： 一种测试微区微量成分的仪器，由于激发X射线的电子束很细，宛若针 状，因此常称电子探针。 物理基础： X射线光谱学、 X射线能谱学 原理： 用细聚焦电子束入射样品表面、激发出样品元素的特征X射线: 分析特征X射线的波长（或特征能量）即可知道样品中所含元素的种类(定 性分析，准确). 分析 X射线的强度、则可知道样品中对应元素的多少(定量分析，相对精 度约为±1～5％)。 元素分析范围：从Mg12到U92元素 原理： 利用X射线照射样品，使之产生二次辐射，依据二次辐射的光谱，进行化学成分的定性(点、线、面分析)和定量分析。 特点： 1）样品来源广（块体，粉末，薄膜，泥浆，液体等）。 2）测试快速、准确、不损坏样品，