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压电致动微夹钳夹爪位置控制系统设计 学 生：XXX 学 号：XXX 指导教师：XXX 助理指导教师：XXX 专 业：测控技术与仪器 二O一零年六月  Design on the position control system of a piezoelectrically driven monolithic microgripper Undergraduate: Du Shushuai Supervisor: Prof. Wang Dai Hua Assistant Supervisor: Dong Haomin Major: Measuring and Control Technology Instruments The College of Optoelectronic Engineering June 2010摘 要 微装配机器人在微零件装配、微机电系统(MEMS)、精密光学等领域有着广泛的应用前景。而微夹钳作为微装配机器人的末端执行器，直接决定机器人的工作效果。由于压电陶瓷具有结构紧凑、分辨率高、响应快、无摩擦等优点，故由压电元器件驱动的微夹钳比较普遍。而压电陶瓷自身的迟滞引起的非线性，增加了控制微夹钳的困难。本章提出并研究了前馈补偿和PI反馈控制利用模型前馈补偿控制补偿压电陶瓷执行器的迟滞