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第三章 经典合成方法 3.1化学气相沉积法（CVD） CVD简史 古老原始形态：远古人类在取暖或烧烤时熏在岩洞壁或岩石上的黑色碳层 中国古代的炼丹术(“升炼“)：早期的化学气相沉积技术。李时珍引用胡演《丹药秘诀》中从汞和硫作用生成硫化汞的一段论述是人类历史上对CVD技术迄今发现的最古老的文字记载。 胡演《丹药秘诀》中关于“银朱”（HgS）的升炼法的描述： “用石亭脂1000克在新锅中熔化，次下水银500克炒作青砂头，至不见水银星珠时研末罐盛，石板盖住，铁丝绊定，盐泥固济，大火煅之，待冷取出。贴罐者为银朱，贴口者为丹砂。” 20世纪60年代初，由美国学者John M. Blocher Jr.(” Sir CVD”) 首先提出CVD这一名称。 CVD 对原料、产物及反应类型的要求 反应物在室温下最好是气态，或在不太高温度就有相当的蒸汽压，且容易获得高纯品 能够形成所需要的材料沉积层，反应副产物均易挥发 沉积装置简单，操作方便。工艺上有良好的重现性，适于批量生产，成本低廉 原子/分子水平上化学合成材料－高度适应性和创新性 高纯度材料－基于CVD源可以通过气相过程得到高纯度的原料和产品 组成和结构可控性－制备工艺重现性 广泛的适应性与多用性 材料制备与器件制作的一致性 设备较简单、操作简易、易于实现自动控制 CVD的分类 3.1.1 CVD的化学反应体系－热解反应 氢化物M-