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激光诱导击穿光谱及其应用研究进展 钢铁研究总院测试所 贾云海 激光诱导击穿光谱原理 激光诱导击穿光谱法（Laser Induced Breakdown Spectroscopy 或Laser Induced Plasma Spectroscopy）简称为LIBS或LIPS，由美国 Los Alamos 国家实验室的 David Cremers 研究小组1962年提出和实现。该技术是目前国际非常流行，极具价值，非常有前景的分析工具 激光经透镜聚焦在样品表面，当激光脉冲的能量密度大于击穿门槛能量时，就会在局部产生等离子体，称作激光诱导等离子体。用光谱仪直接收集样品表等离子体产生的发射谱线信号，根据发射光谱的强度进行定量分析 。 激光诱导等离子体发射谱线的形成过程 （a）多光子电离形成等离子体 (b) 轫致辐射及电子自由跃迁形成的宽带发射，主要为等离子 体中各元素的电离线形成的连续背景谱线，该过程需几百纳秒。 (c)能级跃迁形成的谱线发射，谱线强度与元素浓度成正比。该过程通常持续几微秒，是进行元素定量分析的重要环节 激光诱导击穿光谱技术的优势 分析简便、快速，无须烦琐的样品前处理过程； 对样品尺寸、形状及物理性质要求不严格，可分析不规则样品；可分析导体、非导体材料