太阳能电池制造工艺---工艺流程以及工序概要.ppt

太阳能电池制造工艺 ——工艺流程以及工序简介 磷扩散层 其主要是利用硅半导体p-n结的光生伏打效应。即当太阳光照射p-n结时，便产生了电子-空穴对，并在内建电场的作用下，电子驱向n型区，空穴驱向p型区，从而使n区有过剩的电子，p区有过剩的空穴，于是在p-n结的附近形成了与内建电场方向相反的光生电场。在n区与p区间产生了电动势。当接通外电路时便有了电流输出。 硅太阳能电池的结构及其工作原理： 1.前言 单晶硅太阳电池 多晶硅太阳电池 非晶硅太阳电池 下面我们就硅太阳电池的制造工艺流程以及各工序进行简单的介绍。 晶体硅太阳能电池制造的常规工艺流程主要包括：硅片清洗、绒面制备、扩散制结、等离子周边刻蚀、去PSG(磷硅玻璃) 、PECVD 减反射膜制备、电极(背面电极、铝背场和正电极) 印刷及烘干、烧结和分选测试等。同时,在各工序之间还有检测项目,主要有抽样检测制绒效果、抽样 测方块电阻、抽样测氮化硅减反射膜厚度和折射率等项目。 2. 硅太阳电池的制造工艺流程 等离子刻蚀 捷佳创单晶制绒 库特勒多晶制绒 扩 散 工序 PECVD 工序 丝网印刷 工序 制绒清洗工序 烧结 工序 去PSG工序 测试分选工序 成品硅太阳能电池 1）、硅太阳能电池的制造工艺流程： 5.沉积减反射膜（PECVD） 1.原料硅片清洗、制绒 2.高温扩散（液态扩散） 6.丝网印刷背电极 8.丝网印刷背电场 7.烘