传感器2章应变片题稿.pptVIP

2014 1 2.5.4、应变式位移传感器 组合应变式位移传感器 2.5.5梁式弹性敏感元件 等截面梁 等强度梁 其他 等强度梁 薄壁圆筒 * * 第2章 电阻式传感器 电阻式传感器就是利用一定的方式将被测量的变化转化为敏感元件电阻值的变化，进而通过电路变成电压或电流信号输出的一类传感器。可用于各种机械量和热工量的检测，如：力、位移、速度、加速度、力矩、重量等，它结构简单，性能稳定，成本低廉，因此，在许多行业得到了广泛应用。 目前，常用的电阻传感器主要有电位器、电阻应变片、热电阻、光敏电阻、气敏电阻和湿敏电阻等几大类。 2.1 电阻应变片 电阻应变片是利用电阻应变效应原理制成的、应用最为广泛的电阻式传感器，主要用于机械量的检测中，如力、压力、速度、位移、重量等物理量的检测。 2.1.1 电阻应变效应 金属导体或半导体材料在外力作用下产生机械变形时，它的电阻值也相应地发生变化，这一物理现象称为电阻应变效应。 2.1.1.1 电阻的应变灵敏度系数 根据电阻的定义式 ；当有变化量?ρ、?l、?A时，其相对变化率为： 为轴向应变 ?A=A‘-A=л[（d-?d）2-d2]/4=2?d/d (略去高阶无穷小）。再引进力学中的泊松比 ；故 ；最后得： ； 对于直径为d的圆柱形截面的电阻丝，因为A=лd2/4；故： Ks：应变灵敏系数。其中：（1+2μ）是由几何尺寸改变引起的，金属导体以此为主； 是由材料的电阻率随应变所引起的变化，半导体材料以此为主，尺寸改变小。半导体应变片由压阻效应原理做成，某一轴向受外力作用电阻率发生变化的现象。 用应变片测量应变或应力时，是把应变片粘贴于被测对象上的。在外力作用下，被测对象表面产生微小的机械变形，应变片随其发生相同变化，同时应变片电阻也发生相应的变化。如果能测得应变片电阻值的变化，则据 可以得到被测对象的应变值 ，再根据应力—应变关系，可得试件的应力。 式中： 为试件的应力； 为试件的应变；E 为试件材料的弹性模量（ ）。 电阻应变片的种类繁多，形式多样，但其基本结构大体相同。现以金属丝式应变片的结构为例说明。如右图所示，图中电阻丝绕成S形状的敏感栅，敏感栅为应变片的敏感元件，直径一般为0.0l ～0.05mm的电阻丝平行排列而成，作用是感受应变的变化或大小。敏感栅粘贴在基片（基底）上，基片具有固定敏感栅和绝缘作用，很薄，一般为0.03～0.06mm。敏感栅上面有覆盖层，而且敏感栅电阻丝两端接有引出线用以和外接导线相连。 2.1.2应变片的测试原理 2.1.3应变片的基本结构 2.1.3应变片的基本结构 1) 丝式应变片 如图2.1.1a所示，它是将金属丝按图示形状弯曲后用粘合剂贴在衬底上而成，基底可分为纸基，胶基和纸浸胶基等。电阻丝两端焊有引出线，使用时只要将应变片贴于弹性体上就可构成应变式传感器。它结构简单，价格低，强度高，但允许通过的电流较小，测量精度较低，适用于测量要求不很高的场合使用。 2.1.4 电阻应变片的类型 金属电阻应变片和半导体应变片 2.1.4.1 金属电阻应变片（丝式、箔式和薄膜式三种） 3)金属薄膜应变片 它是采用真空蒸镀或溅射式阴极扩散等方法，在薄的基底材料上制成一层金属电阻材料薄膜以形成应变片。这种应变片有较高的灵敏度系数，允许电流密度大，工作温度范围较广。 2) 箔式应变片 该类应变片的敏感栅是通过光刻、腐蚀等工艺制成。箔栅厚度一般在0.003- 0.01mm之间，它结构如图2.1.1b所示。箔式应变片与丝式应变片比较其面积大，散 热性好，允许通过较大的电流。由于它的厚度薄，因此具有较好的可绕性，灵敏度 系数较高。箔式应变片还可以根据需要制成任意形状，适合批量生产。 1）体型半导体应变片 这是一种将半导体材料硅或锗晶体按一定方向切割成的片状小条，经腐蚀压焊粘贴在基片上而成的应变片，其结构如下图所示。 半导体应变片是利用半导体材料的压阻效应而制成的一种纯电阻性元件。 对一块半导体材料的某一轴向施加一定的载荷而产生应力时，它的电阻率会发生变化，这种物理现象称为半导体的压阻效应。半导体应变片有以下几种类型： 2.1.4.2 半导体应变片 3）扩散