传感器及其应用_第3章电阻式传感器题稿.ppt

第3章 电阻式传感器及应用 一、电阻式传感器及分类 1.电阻式传感器 电阻式传感器是把被测量转换为电阻变化的一种传感器。 2.电阻式传感器分类 电阻式传感器主要有变阻器式、电阻应变式和固态压阻式传感器。 二、变阻器式电阻式传感器 优点： ＊结构简单、尺寸小、重量轻、价格低廉且性能稳定； ＊受环境因素(如温度、湿度、电磁场干扰等)影响小； ＊可以实现输出—输入间任意函数关系； ＊输出信号大，一般不需放大。 缺点： ＊因为存在电刷与线圈或电阻膜之间摩擦，因此需要较大的输入能量； ＊由于磨损不仅影响使用寿命和降低可靠性，而且会降低测量精度，所以分辨力较低； ＊动态响应较差，适合于测量变化较缓慢的量。 三、电阻应变式电阻传感器 金属电阻应变片的工作原理是基于金属导体的电阻-应变效应，即金属导体在外力作用下发生机械变形时，其电阻值随着它所受机械变形(伸长或缩短)的变化而发生变化的现象。 1.分类及结构 金属电阻应变片分为金属丝式、箔式和膜式等。 （1）电阻丝应变片 金属丝式应变片的典型结构：将一根高电阻率金属丝（康铜、镍铬、卡玛合金等，直径 0.025mm左右）绕成栅形，粘贴在绝缘的基片和覆盖层之间，由引出导线接于电路中。 （2）箔式应变片 箔式应变片由厚度为 1~10?m 的康铜箔或镍铬箔经光刻，腐蚀工艺制成的栅状箔片。 箔式应变片适于大批量生产，可制成多种复杂形状，线条均匀，敏感栅尺寸准确，栅长最小可到0.2mm ；散热好，允许电流大；横向效应、蠕变和机械滞后小，疲劳寿命长；柔性好（可贴于形状复杂的表面），传递试件应变性能好。 目前使用的应变片大多是金属箔式应变片。 （3）膜式应变片 膜式应变片采用真空蒸发或真空沉积等方法，在薄的绝缘基片上形成厚度在0.1mm以下的金属电阻材料薄膜的敏感栅。它的优点是应变灵敏系数大，允许电流密度大，工作范围广，可达－197～317℃。 2.工作原理（电阻－应变效应） 电阻－应变效应是指金属电阻丝的电阻随着它所承受机械变形（伸长或缩短）的大小而发生改变的一种物理现象。 设有一根圆截面金属电阻丝，其电阻为 当R3=R4=R0时 代入 和 得 由上述条件知R1=R2=R， 时 因为 得 上式表示电桥输出端电压仅与作用力有关，而与温度 变化产生的热输出无关，即消除了热输出的影响。 如果R1和R2都是工作应变片，但使R2粘贴于被测试件的相反应变处，则构成半臂工作补偿电桥。则 R1和R2在应力作用和温度变化影响下有： 根据上述条件有R1=R2=R， ， ，则有 上式同样表示电桥输出端电压仅与作用力有关，而与 温度变化产生的热输出无关，即消除了热输出的影响。 五、压阻式传感器及其应用 1.压阻效应 根据电阻－应变效应，有 对于金属电阻丝而言， ，而对于半导 来说， ，所以半导体的电阻－应变效 应为 2.固态压阻式压力传感器 （1）结构 N作为弹性敏感元件，在其上扩散制成P型 电阻，称为硅杯。 （2）特点 体积小，重量轻，可微型化；相应频率高，频 带宽，适合动态测量；精度、灵敏度高等。 （3）电源电桥及其特点 （4）固态压阻传感器的补偿 3.压阻式压力传感器的三种测量方式 绝压测量方式、表压测量方式、差压测量方式。 4.压阻压力传感器分类 压力传感器、压力变送器等。 5.压阻压力传感器选用 6.压阻压力传感器制造商 Freescale(Motorola),Honeywell,Philips等 直流电桥的测量电路如图所示 六、电阻式传感器测量电路 1.恒流源和恒压源 2.放大电路 （1）差动放大器 （2）运算放大器的仪表放大器 （3）运算放大器的仪表放大器 七、电阻式传感器应用 1.电阻应变式传感器的应用 特点：①应用和测量范围广：测力可达到10-2～ 107N；测压力可达103～108Pa；测加速度可达103 m/s3数量级。 ②分辨力、灵敏度和精度高。 （1）测力 ①柱筒形弹性元件测力传感器 ②环形弹性元件测力传感器 * * 金属电阻丝受拉变形 当受到轴向力F被拉伸时，其电阻变化为 则 上式即为电阻－应变效应表达式。 对于电阻应变片，其电阻变化率与应变的关系为 3.电阻应变片的主要特性