真空计全面介绍专用课件.pptVIP

Multi-Gauge 真空計（Multi Gauge Controller） 量測壓力範圍：1000 Torr ～ 10-12 Torr。 最適合高精密度設備製造商及高科技技術研究單位使用 。 Spinning rotor viscosity gauge(旋轉轉子黏滯性真空計)原理1.先啟動垂直控制線圈，使鋼球能穩定的懸浮在垂直軸2.啟動加速控制線圈，使鋼球繞著垂直軸為轉軸，加速旋轉制至400轉／秒後關掉3.這時高速自旋之鋼球會因氣體的黏製性而慢慢減速，這時再由訊號去量測(利用controller)各參數來求得真空壓力 由controller得知壓力須知參數 1.鋼球半徑r、質量m、密度ρ、黏滯性係數σ 2.氣體分子分子量M、絕對溫度T、平均速率v 真 空 計 2002.12.05 大綱 簡介 分類 各式真空計介紹 單 位 換 算 1ATM = 760 Torr = 76 cmHg = 1.01325 x 105 Pa = 1.01325 x 105 ( N／m3 ) = 1.01325 bar 真空計簡介 真空氣壓計（Vacuum pressure gauges）簡稱真空計（Vacuum gauges）。是依據各種物理原理來量測壓力或分子數目的多少。 真空計之分類 依量測範圍分： (1)粗略真空計量測範圍：760 ~ 1Torr (2)中度空計量測範圍：1 ~ 10－３ Torr (3)高度真空計量測範圍：10 -3~ 10－7 Torr (4)超高真空計(Ultrahigh vacuum) 量測範圍：10-7 Torr以下 依工作原理分： 液體靜態真空計 機械式真空計 熱傳導式真空計 半導體式真空計 黏滯性真空計? 離子化真空計? 氣體分壓分析儀 氦氣測漏儀 電容式真空計 機械式真空計利用(容器內)氣體粒子之熱速度作用於(容器內)受力表面來直接量測壓力之真空計 壓力天平(重錘活塞式壓力計-deadweight pressure gauge) PTEST = F／A + PREF = Mg／A+PREF 依使用介質分: 液壓式壓力天平: (最大量測範圍1.379kPa至413.685MPa) 氣壓式壓力天平: (最大量測範圍1.379kPa至 103.421MPa) 液位壓力計(基於連通管原理) ?左圖為最常見U形管液位壓力計 ?液位壓力計使用介質有 水、油、水銀，而水和油適用於低範圍差壓之量測，而水銀因為密度較大的多(約13.6倍)，所以適用於高範圍差壓之量測 特殊之變形U形管結構 U形管架構 斜管式架構 單槽式架構 雙槽式架構 雙槽式壓力計: Schwien原級水壓壓力計 BAT原級壓力計單槽式壓力計: Hass A1大氣壓力計 薄膜式真空計（Diaphragm Manometer） 量測壓力範圍：1500 Torr ～ 1 Torr。 可追加2組自動控制設定模組。 線性0 ～ 1.5 VDC 輸出訊號，可與電腦連線。 電容式真空計  為薄膜真空計(Diaphragm Gage)的一種，利用薄膜兩邊壓力不同而使薄膜偏移，以改變電極間之距離，並使電容也因而改變，故可求得壓力之變化。目前利用電容式原理製造之真空計，其量測範圍可從數十倍大氣壓力至１０－５（１０－３Pa）。以電容式真空計作為轉移準器時值得注意的是，溫度變化的影響很大，因此沒有溫度控制裝置時，必須對溫度變化的影響作詳細評估。 電容式真空計典型代表:MKS Baratron690A(廣為光電，半導體及航空公司所採用) 派藍尼真空計（Pirani Gauge） 中級真空範圍下使用最為廣泛的真空計。 量測壓力範圍：1ATM ～ 10-4 mbar。 內藏調整設定點，適應製程控制，消除雜訊。 低輸出阻抗及完整的法拉屏壁設計消除雜訊。 Pirani gauge(派藍尼真空計)特色：中級真空範圍(1-10-3Torr)下使用最為廣泛具有一條高電阻溫度係數材料製程的燈絲，適當電流通過時，燈絲溫度可保持在100℃至130℃ 定電壓式Pirani Gauge 原理 真空壓力 ↑，熱傳導帶走熱能，燈絲溫度↓，燈絲電阻值↑，電流↓。反之真空壓力↑，電流↓。 ?直接從電流表A觀察電阻值變化，經過適當的轉換校正，可由電流表A直接讀取真空壓力值。 定電流式Pirani Gauge 原理 當感測頭內真空壓力改變