《光电测量技术》(第七章).ppt

* 3、轮廓像偏移的光焦点测量法 1）像点轴上偏移光焦点法 光焦点法是以聚焦光斑光密度分布的集中程度来判断物的轴向位置的方法。 光缝法、刀口法、像散法 * 此法的分辨力可达1nm级 * * 通过光电器件所接收的光能大小来判断物面是否处于焦面位置上 根据光阑处的位移—光通量特性给出物的轴向位置 共焦显微镜的横向分辨力为 * 3、轮廓像偏移的光焦点测量法 2）像点轴外偏移光焦点法 像点轴外偏移光焦点法是一种三角方式的轴向位移测量法 此方法测量范围可达几百mm，分辨力为1μm * 3、轮廓像偏移的光焦点测量法 2）像点轴外偏移光焦点法 此方法测量范围比漫反射法小，分辨力为0.1μm * 三、亮度中心检测法 1、象限检测器法 2、象限分解法 光辐射的亮度分布是光能量沿空间的分布 其中心位置部分称为亮度中心B0 B(x)为目标的亮度分布函数 * 脉冲式激光测距系统 发散光学系统倍率的选取，视情况而定 此倍率就是发散角被压缩的倍率 倍率大，外形尺寸也要增大，会带来一些限制 一般的测距，发散角不小于1mrad 高精度、超远距测距，光束发散角可在0.1~1mrad 光学系统目镜和物镜的选取要以激光束全部通过为原则—目镜通光孔径略大于激光光束直径 * 脉冲式激光测距系统 激光接收系统 * 脉冲式激光测距系统 为了尽可能将目标反射回来的激光能量会聚到探测器上 要适当限制接收视场，以减少杂散光的干涉