芯片发展历程与莫尔定律要点.ppt

* * * * * * * * 微电子制造原理与技术 第二部分 芯片制造原理与技术 李 明 材料科学与工程学院 芯片发展历程与莫尔定律 晶体管结构及其作用 芯片微纳制造技术 第1个晶体管的诞生 1947.12.23 点接触式晶体管 By Bardeen Brattain 第一篇关于晶体管的文章 Br Webster’s “The transistor, a semiconductor triode” （晶体管，一个半导体三级管） “Transistor =transfer + resistor, （晶体管＝传输+电阻） Transferring electrical signal across a resistor” （经过一个电阻传输点信号） 场效应晶体管理论 通过表面电荷调制半导体薄膜的电导 率 (Phys. Rev. 74, 232,1948) 1956 Nobel 物理奖：Bardeen, Brattain and Shockley 场效应晶体管理论的建立 1950-1956: 基本晶体管制造技术发展 ---从基于锗的器件转为硅衬底 ---从合金化制造 p/n结转变为扩散制备pn结 1950 扩散结(Hall, Dunlap; GE) 1952 结型场效应晶体管 ( Shockley; Bell Lab) 1954