材料的表面与界面分析－2AAES-北京电子能谱中心.pptVIP

清华大学化学系 表面与材料研究组 俄歇电子能谱 引言 1925年Pierre Auger就在Wilson云室中发现了俄歇电子 1953年J.J.Lander首次使用了电子束激发的俄歇电子能谱(Auger Electron Spectroscopy, AES) 1967年在Harris采用了微分锁相技术，使俄歇电子能谱获得了很高的信背比后，才开始出现了商业化的俄歇电子能谱仪 俄歇电子能谱仪已发展为具有很高微区分辨能力的扫描俄歇微探针（Scanning Auger Microprobe, SAM） AES的特点 表面性（1-2nm） AES具有很高的表面灵敏度，其检测极限约为10-3原子单层 可以同时分析除氢氦以外的所有元素 半定量分析表面成份 化学价态分析 微区分析 界面分析 AES原理 俄歇电子的产生 从图上可见，首先，外来的激发源与原子发生相互作用，把内层轨道（W轨道）上的一个电子激发出去，形成一个孔穴。外层（X轨道）的一个电子填充到内层孔穴上，产生一个能量释放， 促使次外层（Y轨道）的电子激发发射出来而变成自由的俄歇电子。 AES原理 俄歇动能 从俄歇电子跃迁过程可知，俄歇电子的动能只与元素激发过程中涉及的原子轨道的能量有关，而与激发源的种类和能量无关。 俄歇电子的能量可以从跃迁过程涉及的原子轨道能级的结合能来计算。对于WXY俄歇跃迁过程所产生的俄歇电子的能量可