干式涡旋真空泵的发展与关键问题.docVIP

　　涡旋真空泵是一种无油容积式机械真空泵，具有结构简单，有效容积利用系数大，压缩比大，在较宽的压力范围内具有较稳定的抽速，真空度高，驱动力矩小，功率变化小，振动噪声低，可靠性高等优点。本文介绍了涡旋真空泵的发展、目前不同结构型式产品的工作原理、间隙和密封、结构特点、存在的技术问题及相应的解决方法等。 1、涡旋真空泵的研究进展　　涡旋理论是法国人Leno Creux 于1905 年以可逆转的涡旋膨胀机为题申请了美国专利。但由于当时的加工制造水平有限，涡旋盘涡旋齿型线的加工精度无法得到保证，涡旋机械在很长的一段时间内没有被制造出来。20 世纪70 年代开始，能源危机的加剧和高精度数控机床的出现为涡旋机械的发展带来了机遇，1973 年美国Arthur D.Little(简称A.D.L)公司首次提出了涡旋氮气压缩机的研究报告，展现出涡旋压缩机所具有其他压缩机无法比拟的优点，从而涡旋压缩机大规模的开发和研制走上了迅速发展的道路。 　　随着半导体、新材料和生物制药等行业的飞速发展，涡旋理论的不断成熟以及人们对真空环境清洁无油的迫切要求，涡旋真空泵以其独特优点应运而生。20 世纪80 年代早期，涡旋真空泵以其密封性好，返油率低的特性被Coffin Do 应用在高真空系统中。1987 年，日本三菱电机公司首次成功开发回转型涡旋真空泵, 在结构和性能上显示了绝对的优势。1988 年,立式回转型油润滑涡旋真空泵由日本东京大学的Morishita E研制成功。干式真空泵与油润滑真空泵的区别在于泵腔内不含任何的油类和液体。因此解决泵内的密封和冷却问题是干式涡旋真空泵研究的关键。1990 年，采用水冷方式进行冷却的卧式干式涡旋真空泵由Kushiro T研制成功。1998 年，采用风冷方式进行冷却的干式涡旋真空泵由Sawada T研制成功，其主轴上装有两个冷却风扇，分别位于两个静盘的端部。 　　涡旋真空泵按两涡旋盘运动方式的不同可分为两种类型：公转型和回转型。公转型涡旋真空泵中的一个涡旋盘固定不动，称为静涡旋，另一个涡旋盘称为动涡旋盘。电机带动曲轴旋转，曲轴推动动涡旋盘基圆圆心绕静涡旋盘基圆圆心做半径为r(两涡旋盘之间的径向距离)的圆周运动，由防自转机构限制动涡旋盘不能自转。其中电机转速通常约为1500r/min，此时泵的极限真空度较高，并随电机转速的变化极限真空度变化较小。回转型涡旋真空泵中两个涡旋盘都是动涡旋盘，它们同步同方向各自绕自身基圆圆心旋转，相对运动仍为公转平动。两种型式的涡旋真空泵，公转型式的结构简单、零件少，回转型式的结构复杂、零件多。()调研了目前多数厂家的涡旋真空泵产品都为公转型。国内外已投放市场的涡旋真空泵主要有： 　　美国Agilent 公司的双面涡旋真空泵，动涡旋盘两面的涡旋齿为非对称设计，一面的涡旋齿为三头涡旋齿，另一面的涡旋齿为单头涡旋齿，三头涡旋齿面与单头涡旋齿面同时工作，三头涡旋齿提高了抽速，单头涡旋齿保证了极限真空度。 　　英国Edwards 公司的单面单头涡旋齿涡旋真空泵，动盘与机架之间通过金属波纹管进行连接，波纹管具有如下特点： ①波纹管结构将泵内的真空环境与泵内轴承和外界环境进行了隔离，使密封真空腔的密封圈为静密封，这样达到了泵腔内完全无油；②波纹管结构提供了防止动盘自转的作用，替代了常用的曲拐防自转机构，使得结构更紧凑；③波纹管结构可以根据动盘受力的变化提供轴向和径向的补偿；④由于波纹管的扭动，增大了扭矩，电机功率增加。由于此泵是单头单面设计，所以其抽速较低。 　　德国Busch 公司生产的涡旋真空泵是两级形式，即两个动、静涡旋盘副，有效的减少了外界气体向泵内膨胀所产生的热量。Bucsh 的涡旋真空泵不适合抽水蒸气，但其产品外型紧凑、美观，运转平稳，振动、噪音都较小，2~3 年更换密封件，维护简单、方便。 　　中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司的双面单头涡旋齿涡旋真空泵，抽速较高，由于其动涡旋结构具有对称性，所以其可自平衡轴向气体力，简化了主轴的受力情况。但由于泵腔中安装轴承，会存在返油现象，降低极限真空度，达不到完全无油效果。 2、不同动涡旋盘结构的特点2.1、单面动涡旋盘与双面动涡旋盘的比较　　单面和双面为动涡旋盘上两面是否都有涡旋齿而言，动涡旋盘上只有一面有涡旋齿为单面涡旋泵，动涡旋盘上两面都有涡旋齿为双面涡旋泵。目前国内厂家的产品都为双面设计，国外厂家的产品大多为单面设计。与单面相比，双面涡旋泵有较高的抽速和自平衡轴向力的优点，但是由于很高的结构对称性要求，双面涡旋盘的加工制造比较困难；在双面涡旋真空泵的结构中，动涡旋中心要安装两个轴承，轴承和真空室直接相连，即使使用动密封，也会造成返油现象，污染真空环境和影响极限真空度，要考虑轴承因真空引起的变形，使用真空轴承，轴承长期在真空条件下工作，会降低轴承