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微机电系统及纳米技术 大作业 题目: ＭＥＭＳ微型可编程光栅 姓名:张世宇 周裕成 赵阳 班级 学号:2010301368 2010301369 摘要 基于光栅技术的光谱分析在物理、化学、天文、生物、冶金学及其他分析领域起着重要的作用。随着科学技术的发展，对光栅技术提出了更高的要求，对新型光栅的研究也受到更加广泛的重视。ＭＥＭＳ技术的出现与发展提供了能根据实际情况实时改变结构参数的光栅——ＭＥＭＳ微型可编程光栅。这种光栅通过静电驱动的方式实现对光栅的结构单元——微变形梁的编程控制。ＭＥＭＳ微型可编程光栅不仅扩展了光栅在传统领域发挥巨大作用，同时促进其在光通讯等领域的广泛应用。因此，对ＭＥＭＳ微型可编程光栅的研究具有重要的研究意义。 本文针对ＭＥＭＳ微型可编程光栅的衍射特性、机械特性等进行了理论分析和仿真，并对它的结构优化设计、加工工艺等一系列关键技术进行了研究。论文的主要研究内容包括： １．研究ＭＥＭＳ微型可编程光栅的衍射特性，对光栅衍射单元微梁数和各个微梁的高度对衍射特性的影响进行分析，并推导出它的衍射公式。 ２．研究作为ＭＥＭＳ微型可编程光栅的结构单元的微变形梁的Ｐｕｌｌ－ｉｎ现象，并设计一种新型的、具有大冲程的微变形梁结构。同时对单个电极长度、残余应 力等对梁位移的影响进行了分析。 ３．研究ＭＥＭＳ微型可编程光栅结构的模态特性、瞬态响应、瞬态回复等机械特性，确定微型可编程光栅设计的一些主要性能参数。 ４．采用微机械表面加工工艺对几种不同的光栅单元结构进行版图和工艺设计，并在西北工业大学微／纳米系统实验室完成了对ＭＥＭＳ微型可编程光栅样件的制作。 关键词：微机电系统，微型可编程光栅，衍射特性，微变形梁，静电驱动 第一章绪论 1.引言 光谱是各个波长光波的有序排列。而光谱分析学则是研究各种物质光谱的产生及其同物质之间的相互作用的学科。一直以来，基于衍射光栅的光谱分析技术在物理研究中一直占有重要地位。特别是近年来随着科学技术的发展，光栅光谱技术在天文、生物、化学、冶金学及其他分析领域起着越来越重要的作用：物理学研究方面，光栅光谱分析仪可用于验证量子力学的氢原子光谱采集实验；天文学研究方面，利用光栅光谱分析仪可以分析各种恒星的物质组成成分和行星上的大气组成结构：化学研究方面，基于光栅的各种分析仪器可以确定各种化学成分是否存在，甚至包括对它们的含量进行检测。 2.衍射光栅 光栅光谱分析仪器的核心器件是衍射光栅，这是一种具有良好分光性能的学器件。 衍射光栅是具有周期性空间结构或光学性能的光学元件（图１．１）。按制作材料特性的不同可以将衍射光栅分为反射光栅和透射光栅；按表面的形状可分为平面光栅和凹面光栅；按用途来分可以分为：伦琴射线、紫外、红外和可见区的光栅。 图１．１光栅结构图 目前，衍射光栅不仅仅用于光谱分析，而且已经广泛的应用于其他领域，如在计量、无线电天文学、集成光学和光通信、信息处理等领域。如在通讯领域中，基于光栅技术的波分复用器件可以大大提高光纤光学网络的容量，并提高其通讯 能力。 第二章：ＭＥＭＳ微型可编程光栅结构与原理 1.ＭＥＭＳ微型可编程光栅结构 微机电系统（Ｍｉｃｒｏ—ｅｌｅｃｔｒｏ—ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ，ＭＥＭＳ）是指那些采用集成微电子制备工艺技术批量生产的，具有模拟地提供机械，电子功能的多器件系统。 它的一个很重要的特点是，可以采用微机械加工技术在硅片上制作一些可以控制 的、可动的微型机械结构。利用ＭＥＭＳ的这个特性，我们可以在硅片上加工制作一种新型的光栅结构，这种光栅的每个结构单元可以在静电力作用下进行编程 控制，这就是ＭＥＭＳ微型可编程光栅。 图１．３ＭＥＭＳ微型可编程光栅原理结构图 ＭＥＭＳ微型可编程光栅结构如图１．３所示，这里的“可编程”含义是指：通过驱动电路的编程控制，光栅的单元结构元素能够按照预期在一定程度内发生变形，使得光栅的栅距、闪耀角等参数发生改变，从而可以对光场光波进行相位控制，使得特定波长的光波空间相位按要求重新分布，产生预期的衍射和干涉能量分布特性。 基于ＭＥＭＳ的微型光谱仪已经成为目前光谱仪研究的重要发展方向，而光栅正是现代光谱分析仪的主要色散器件。ＭＥＭＳ微型可编程光栅为微型