机构特性背隙误差说明文件V20.doc

機構特性背隙誤差說明文件 版 本：V2.0 作 者：賴春億 修訂日期：95/05/08 版本更新記錄 項次 更改內容紀錄 更改日期 作者 更改後版本 01 初版定稿 2006/05/08 賴春億 V21.0 背隙定義 (當平台以一固定軸方向移動後靜止，再往反方向移動時，平台非立即 移動，而是靜止在原位置等待運動命令量到達一定量後才開始移動， 即為床台背隙誤差量。 背隙起因 (背隙誤差的起因主要來自於床台運動摩擦力與螺桿傳動饒性平衡所造 成的現象，但在舊機台上機構磨耗也可能是形成原因。 說明： 機械平台軸向背隙的現象就如同一輛汽車透過一條彈簧拉動一個質量 M平擺於地面的鐵塊(圖一)。當汽車拉動一個鐵塊往一固定方向運動， 汽車啟動後，鐵塊並非馬上移動而是等到彈簧拉伸後產生的拉力與鐵塊 接觸地面產生的達到平衡後，鐵塊才會開始移動，當汽車靜止後，鐵塊 由於彈簧的緩衝所以靜止時間會比較慢。 當汽車是低速拉動鐵塊時，且汽車停止減速度很小時，鐵塊靜止時 的彈簧的長度應是維持拉伸的狀況，但如果汽車是高速拉動鐵塊，且汽 車停止減速度很大時，鐵塊靜止時彈簧的長度應是壓縮的狀況。 而在現實機械的平台機構中，驅動馬達就如同汽車、螺桿就如同彈 簧、平台就如同鐵塊、而滑軌就是地面，當平台與滑軌存在一摩擦力時， 反向運動時，螺桿的扭轉量是隨著運動的速度和加速度不同而改變，平 台軸向背隙量也隨著靜止前運動速度變化(如圖二)。 一般機台背隙誤差允許值 (行程一米的平台在未加任何補償前，正常靜態背隙誤差量硬軌應為 25um以內，線軌應為10um以內。若經量測後發現超過此經驗值， 則建議機械廠重新檢查平台組裝是否正常。 最小爬行量 但當同方向運動的移動時必須滿足當控制器下1um的移動命令量時， 平台實際移動量也為1um。 動態背隙誤差量測 (a.方法一(以雷射量測)： 一般動態背隙量測是將平台以1m/min的速度移動，用雷射量測其實際移動位置與控制器命令輸出位置的誤差，當正、反向量測誤差會有一個固定差值，此差值即為速度1m/min動態背隙誤差(如圖一)。 b.方法二(以千分錶量測)請先固定一正方體擋塊於床台上，如圖四 X軸： 將床台往X-方向移動 把千分錶架在主軸上，探針頂住床台上擋塊X+面並歸零(千分比微吃20um) 將目前座標設定為外部座標偏移量(G54)，執行以下程式 G54G90G80G40G49 G00X0Y0Z0 G01X-50.F5000 X0. G04X2. Z50. X50. X0. Z0. G04X2. M01 M99 檢查千分表誤差值即為X軸動態背隙誤差。 Y軸： 將床台往Y+方向移動 把千分錶架在主軸上，探針頂住床台上擋塊Y+面並歸零(千分比微吃20um) (3) 將目前座標設定為外部座標偏移量(G54)，執行以下程式 G54G90G80G40G49 G00X0Y0Z0 G01Y50.F5000 Y0. G04X2. Z50. Y-50. Y0. Z0. G04X2. M01 M99 Z軸： 將床台往Z+方向移動 把千分錶架在主軸上，探針頂住床台上擋塊Z-面並歸零(千分比微吃20um) (3) 將目前座標設定為外部座標偏移量(G54)，執行以下程式 G54G90G80G40G49 G00X0Y0Z0 G01Z50.F5000 Z0. G04X2. X50. Z-50. Z0.