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导向销:销子磨损超过1/4以上需要更换 * 活塞销:销子两端的耐磨层磨损变薄后需要更换 固定位置O型圈:破损老化或者检漏泄漏处需 要更换。 马达：马达驱动轴断裂或扭矩明显不足时需要交换。 气缸：使用超过十年或内部刮伤、有氦气泄漏的需要更换。 马达键：磨损严重时需要交换。 其他部件：有破损或明显不可修复变形时，需要交换。 * 冷冻的油成分导致的症状和问题点 　１）　损伤密封件 　　?　突然发生故障 　２）　伤及冷冻机气缸 　　?　导致更换气缸等高额修理费的 　３）　油成分沾在金属管内 　　?　会突然发生冷却不良　 * 粘在活塞上的油 * 密封件：不能进行正常的气体转换，导致冷却不良 轴套：轴套老化导致运转不良 导致定期保养以外的部品更换、导致生产的停止 保养所需的费用更换高 不进行定期维护的危险性 因为连续使用加剧密封件以及轴套的老化 预防维护规范： ① 记录低温泵温度……（每天） ② 记录压缩机压力……（每天） ③ 更换压缩机吸附器…（18000 小时） ④ 更换冷头活塞………（按需要） ⑤ 向压缩机加氦气……（按需要，一般压力低于1.2MPa时需补充） 正常情况下不定期的维护程序： ① 根据需要对压缩机补充氦气； ② 低温泵的冷却容量出现明显下降时更换冷头活塞； ③ 当玷污物进入氦气回路时，用氦气吹洗压缩机和冷头。 * 低温泵的点检与故障的查找分析 * 1低温泵点检 ① 冷冻机运行是否平稳。 ② 温度、真空度是否正常。 ③ 泵体外侧是否有冷凝水存在, 否则, 需进行再生。 2.压缩机点检 ① He 气压、水流量、水温、油位是否正常。 （ He 气压 低压：0.4～0.8MPa；高压：1.7～2.2MPa 水温范围8°～35°，正常纯水即可） ② 压缩机运转是否正常。 * 故障排除程序： 当你发现低温泵-压缩机系统有问题上时，在没有确定问题的根源是 低温泵还是压缩机故障之前，我们首先参看如下的简单问题的检查。 ⊙低温泵接通电源与否。 ⊙压缩机插好电源后没有反映，看看压缩机的热保护是否已经复位。 ⊙看压缩机是否放平，因为过大的斜度时压缩机运行时可能会造成压 机过热而停止。 ⊙在低温泵没达到切入压力时，不能打开高真空阀门。 ⊙低温泵是否要再生？ ⊙制冷机的核心部件经过 9000-12000 小时后更换没有？ ⊙真空系统是否漏气。 ⊙冷阵是否被油污染。 ⊙金属软管安装是否正确，切忌不能装反。 ⊙氦气是否充足。 * 故障现象 故障范围 可能原因 建议措施 1.低温泵最低温度太高或降温时间太长 a.低温泵已经抽气至饱和 低温泵需要再生 启动再生器进行低温泵再生 系统负载太大 更换制冷量更大的低温泵 开启压力过高 在启动低温泵之前至少预抽到3Pa b.氦气压力太低 系统有氦气泄漏 对整个系统进行检漏，查出漏点并解决 c.障板或辐射屏 障板或辐射屏与 泵外壳相碰 拧紧螺钉确保他们的正确位置 辐射屏被腐蚀或 很脏没有光泽 拆下用酒精清洗 * 故障现象 故障范围 可能原因 建议措施 2.低温泵噪 音大，运转缓慢或不正常（正常为2.4Hz） a.氦回路或配 气阀污染 氦的供气系统中含有湿气或空气 用 5 个 9 的高纯氦气吹洗，确保没有湿气 氦气中含有油蒸汽 安装一只新吸附器 b.制冷机 活塞或配气阀损坏 更换 配气阀与阀座之间有赃物 清洗 * * 谢谢 * * * * 蒸着装置に使用されているクライオポンプインナーキット写真です。 水分が多く発生する為、再生時に黒化処理が剥離する現象見られます。 インナーキットの交換が必要になります。 * ８０Ｋバッフルは、鏡面になっている為、輻射熱を反射し温度上昇を 防止します。 逆に汚れていると、輻射熱を吸収し温度上昇する場合があります。 * ８０Ｋシールドは、黒化処理がなされております。 黒化処理が剥離していますと、輻射熱が反射し、１５Ｋパネルへの熱負荷が 増大し、温度上昇の原因となります。 * 使用した１５Ｋパネル（１）です。 メッキ表面が汚れている為、輻射熱を吸収し温度上昇が発生する 可能性があります。 * 低温泵基础知识培训 　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 生产三部-卷绕线 代祖波 2013年10月23日 　 * 1、低温泵的结构 2、低温泵的构造及功能 3、低温环境的形成 4、低温泵的安装与要求 5、低温泵的再生与保养 6、低温泵的点检与故障的查找分析 大纲 * 低温泵的结构 * 障板 15K冷板(冷伞) ８０K辐