传感器与检测技术课件(东北师大).pptx

传感器与检测技术主讲人第一章 传感器与检测技术基本理论1.1传感器简述1.1.1传感器的定义、组成和分类1．传感器的定义传感器的定义包括以下四个方面的含义：（1）传感器是测量装置或器件，能完成信号获取内容。（2）它的输入量是某一被测量，可能是化学量、物理量、生物量等。（3）它的输出量是某种物理量，该量要便于传输、转换、处理、显示等，这种量可以是气、光、电量，但主要是电量。（4）输出与输入有对应关系，且应有一定的精度。2．传感器的组成（1）敏感元件（2）转换元件（3）测量电路3．传感器的分类（1）按测量的工作原理分类（2）按被测量分类（3）按能量关系分类（4）按输出信号分类（5）根据被测量的转换特征分类（6）按结构分类1.1.2传感器的基本特性1．传感器的静态特性（1）线性度（2）灵敏度（9）分辨率和（10）稳定性（5）漂移 （6）测量范围（3）迟滞 （4）重复性（7）量程（8）精度1.2检测技术的基础知识1.2.1测量的定义及方法1．测量2．测量方法测量的方法很多，下面介绍几种。（1）按测量手续分为直接测量、间接测量和联立测量1）直接测量2）间接测量3）联立测量（也称组合测量）（2）按测量方式分为偏差式测量、零位式测量和微差式测量.3）微差式测量1）偏差式测量LoremLoremLorem2）零位式测量（3）等精度测量与非等精度测量1.2.2测量系统的组成1．测量系统2．开环测量系统与闭环测量系统（1）开环测量系统（2）闭环测量系统3．主动式测量系统与被动式测量系统（1）主动式测量系统 这种测量系统的特点是在测量过程中需要从外部向被测量对象施加能量。（2）被动式测量系统 被动式测量系统的特点式在测量过程中不需要从外部向被测量对象施加能量。1.2.3测量误差1．测量误差的基本概念（1）测量误差的定义（2）测量误差的分类2．测量误差的表示方法（1）绝对误差（2）相对误差（3）引用误差3．基本误差与附加误差AMETAMET0201 （1）基本误差（2）附加误差 4. 系统误差、随机误差和粗大误差（3）粗大误差（1）系统误差（4）三者之间的关系（2）随机误差（4）三者之间的关系1）在测量中，若系统误差很小，称测量的准确度很高；若随即误差很小，称测量的精密度很高2）在工程测量中，有粗大误差的策略结构是不可取的。3）在测量中，系统误差与随机误差的数量级必须是相适应的。4）三者之间的关系1.2.4测量误差的估计和处理1．随机误差的统计特征LOREMLOREMLOREM 2）对称性1）集中性3）有限性2．系统误差的发现与校正（1）系统误差的发现?实验对比?剩余误差观察法?理论计算法④计算数据比较法（2）系统误差的修正和消减１）补偿法012）差动法023）比值补偿法034）替换法045）修正法05Hot Tip3．测量误差的合成与分配（1）测量误差的合成1）系统误差的合成2）随机误差的合成3）总合成误差[ Image information in product ] Image : www.wizdata.co.kr Note to customers : This image has been licensed to be used within this PowerPoint template only. You may not extract the image for any other use. （2）测量误差的分配1）等精度分配2）等作用分配3）按主要误差进行分配1.3我国传感器发展现状与方向1．我国传感器行业发展现状2．我国传感器的发展趋势BCA（3）传感器的数字化和智能化（2）新材料的研发（1）传感器的集成化和多功能化3．当前重点发展的传感器技术和产品A（1）MEMS工艺和微传感器　　（2）集成工艺和集成传感器Bc（3）智能化技术与智能传感器（4）网络化技术和网络化传感器D第二章 电阻式传感器2.1应变式传感器2.1.1应变式传感器工作原理2.1.2应变式传感器结构及特点1．应变片的结构与类型（1）应变片结构（2）应变片的类型（3）几种常用应变片1）丝式应变片2）箔式应变片3）金属薄膜应变片2．应变片的选取及粘贴通常所选的粘贴剂应满足以下要求：① 有一定的粘结强度，且对弹性元件和应变计不产生化学腐蚀作用；② 能准确传递应变，具有足够的稳定性能；③ 蠕变小；④ 机械滞后小；⑤应有较大的温度使用范围，耐疲劳性能好；⑥有适当的储存期。41④ 固化。① 应变片的选择。52⑤ 黏贴质量检查。② 试件的表面及底层处理。63⑥ 引线焊接与组桥连接。③ 贴片。3．电阻应变片特性 （1）弹性敏感元件的基本特性 1）刚度2）灵敏度BA（2）电阻应变片灵敏系数（3）横向效应（4）零漂和蠕变（5）应变极限（6）疲劳寿命2.1.3应变式传感器测量电路