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高真空度的获得与测量 一、实验目的 1. 掌握一种高真空的获得与测量方法。 2. 了解高真空系统的结构及各部件的作用。 3. 熟悉火花检漏器的使用及对真空度的估计方法。 二、实验原理 压强在0.1~0.00001 Pa内的系统称高真空系统。 一般的高真空系统由被抽容器、油封旋片式 机械真空泵、油扩散泵、真空阀门和连通管 道串联组成。以电阻真空计，电离真空计和 火花检漏器组成测量仪器。 下面对抽气系统和实验测量仪器作简要介绍 1. 抽气系统 本实验由油封旋片式机械泵和油扩散泵组成 机械泵——油扩散泵系统以获得高真空。 ① 油封旋片式机械真空泵 极限压强一般为0.1帕，主要用来获得低真空，为油扩散泵提供一个前置真空。 工作原理：利用机械的方法，使转子在腔体内转动，周期性地改变泵内吸气空腔的容积，使被抽容器中的气体不断膨胀从而被抽走的。 常见故障：油被有机蒸汽或水汽严重沾污，机械转动部件的磨损，转动轴漏油，密封油逐渐减少等，会使极限真空降低。 ② 油扩散泵 主要用来获得高真空，它是本系统的主泵。油扩散泵工作时要求一定的前置真空一般为0.1帕量级，本实验由机械泵提供，其次是要有适当的加热温度，以保证足够的工作蒸汽密度和流速，否则将不能有效地抽气。但是，也不能太高，加热太高会引起油的分裂，影响极限真空度及抽速。 常见故障：油的质量不高，油长期使用被沾污，冷却水流量太小，加热电炉 断路等。 2. 实验测量仪器 本实验用测量仪器有：火花检漏器，电阻真 空计和电离真空计。火花检漏器和电阻真空 计用于测量低真空（极限压强在0.1帕以上） 电离真空计用于测量高真空。 下面对测量仪器作分别介绍 ① 火花检漏器 是一种在玻璃系统中初级的广泛应用的估计真空度的简单方便的工具，火花检漏器是一种小功率的高频火花振荡器。当其接通电源后，将在输出电极附近形成强烈的高频电场，在空气中产生火花放电。 当此电极移近玻动真空系统时，将引起真空系统内的残余气体产生高频放电。可以根据以上的放电颜色和形状，粗略地估计真空系统中真空度的数量级。 放电的颜色和形状以及压强的关系 P（压强、量级） 放电颜色 大气压 无色 104~103帕 紫色 线状 103~102帕 紫红色 线状 102~102帕 深红色 分散 10~1帕 粉红色 分散 1~ 帕 淡兰色 分散 0.1帕 极淡兰色 分散 ≤ 0.02帕 颜色消失 玻壁上有萤光 注意事项： ① 火花不要长期停留于玻璃壁的某一点，特别是在那些烧接的地方，以免打穿玻璃壁； ② 不要用手触及其电极，以免烧伤； ③ 不要将火花靠近易燃物品； ④ 不得连续放电5秒以上，间歇时间不得少于5秒钟，连续使用不得超过10分在发热时应停止工作。 ② 电阻真空计 工作原理： 在低压强时，电阻规利用气体分子的热传 导，在高压强时利用气体分子的对流传导特 性，使得电阻规的电阻随所测系统的压强变 化而变化。电阻与压强的变化是一种非线性 关系，再经微机处理A/D转换，非线性运算， 最后送显示器显示。 注意事项： ① 零点校准：当真空度高于 帕时（可由电离规监测）调节“ZERO”零点电位器，使其显示1.0E—1 ② 满度校准：大气状态时，调整“F·S”满度电位器，使其显示1.0E5 ③ 电阻规故障判断 ③ 电离真空计 工作原理： 当电离规管灯丝加热发射电子，电子经加速 后与气体分子碰撞而使气体电离，正离子被 收集极吸收，离子流与压强的关系为 Ii =K P Ie 式中：K—规管灵敏度 Ii—离子电流 Ie—电子电流 P—压强 注意事项： 系统真空度高于1帕，电离计自动进入工作状态， 并显示真空度 ① 发射电流检测：按下“电离”按钮，此时显示发射值 真空度低于 0.1帕，发射电流为100μA 真空度高于 0.1帕，发射电流为1mA ② 规管去气：当真空度高于 0.1帕时，可对规管去气，按下“去气”按钮，规管开始去气，并显示去气时间。若需中止去气，则按下“电离”按钮，此时重新进入测量状态。 三、实验系统及使用方法 本实验是在一个多用实验系统上进行，系统的结构示意图如图所示，扩散泵——机械泵组用来获得高真空。M1和M2分别为电阻真空规管和电离真空规管，用来进行真空测量。凡尔（Valve）V1作为扩散泵与机械泵的接通或分离用，V5是