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　　　 　　　　PCW系统简介 PCW系统作用 因机台在制造生产过程中会产生大量热，如不及时把热量除去，会造成机台不能精确动作或误动作，严重时会当机，严重影响制程良率。 PCW系统概要 设备冷却水由制程机房PCW PUMP送水管送出经过滤器、热交换器到Ｆ２　A／B栋各楼层，经由各设备需求点后由回水管至Ｆ２-Ｂ１栋的TANK,再回到PCW PUMP往复循环。 PCW系统流程图 ＰＣＷ一次侧水温：１４℃ ＰＣＷ一次侧水温：２０℃ 处理量：1,312.5LPM /1,750LPM PCW TANK 作用： 1.建立及保持系统的最小静压 2.预防因温度的变化，产生水 体积的变化进而对系统压力 产生过大的变化. 状态说明 1.Lo Lo: 自来水,RO水同时补水并报警 2.Lo:RO水开始补水 3.Hi:RO水补水关闭 4.Hi Hi: 发出警报 示意图 PCW系统的水处理 原因:虽然PCW系统内采用RO水,但不可片面地认为使用RO水就无需化学处理,PCW系统仍然存在腐蚀,沉积,微生物问题。 A 腐蚀问题 由于PCW系统大部分为半封闭系统，对外界空气没有完全隔离，因此空气可自由进入系统，空气中含有CO2和O2,会造成水质变酸性及金属氧化，从而使系统产生腐蚀，最终有可能引起系统管路破损。 B 沉积问题 与腐蚀问题相关，因为保持水为纯水，没有硬度沉积之困扰，但腐蚀仍将发生：氧化铁、氧化铜、氧化铝等金属腐蚀物就会在管路中沉积，经过一段时间的运行，将堵塞细微管路，影响机台运行，严重时会造成机台当机。 C 微生物问题 因PCW系统回水温度非常适合微生物的生长，其半封闭系统可提供足够的氧气和养分供细菌生长需求，长时间繁殖生长形成细菌族群，造成系统问题。部分细菌会以金属材料作为养分，新陈代谢产物为酸液，腐蚀管路。 处理方法 1.预处理方案： 在洗管时，用预处理药剂清楚管路内的锈、油渍、碎屑等 2.日常处理方案： 防腐蚀剂+杀菌剂 3.加药设备 由隔膜计量泵、药桶、、控制盒组成，将药剂每周一 次定量地加入PCW系统中 * * PCW SYSTEM PCW SYSTEM HEAT EXCHANGER VFD PUMP FILTER 冰水 回 冰水 进 FAB : B1F 自来水 进水 14OC 16OC 8OC TANK F2　Ａ／B栋 RO水 进水 PCW SYSTEM Detail 20OC Back PCW PUMP FILTER HEX 一级过滤等级１００ μm 　　二级过滤等级３０ μm 处理量１７５０LPM PUMP 　　　　　　　１７５０ＬＰＭ,７５M,　２２KW * * * *