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位移传感器又称为线性传感器，它分为电感式位移传感器、电容式位移传感器、霍尔式位移传感器、光电式位移传感器和超声波式位移传感器等。 本章讨论了自感式位移传感器及其应用电路、差动变压器式传感器及其测量电路、电容式传感器的位移与物位置测量电路、霍尔传感器的位移测量电路、光位置传感器及其测量电路等内容。 5.1 电感式位移传感器及其应用电路 电感式传感器是利用线圈的自感和线圈间的 互感的变化来实现非电量电测的一种装置。利 用这种转换原理，可以测量位移、振动、压力、 应变、流量、相对密度等参数。 电感式传感器根据转换原理，可以分为自感式和互感式两类。按照结构形式，自感式传感器又可以分为变气隙式、变截面式和螺管式等形式，互感式传感器也有变气隙式及螺管式等结构。 人们习惯上讲电感式传感器通常指自感式传感器，而互感式传感器，则由于它是利用变压器原理，又往往做成差动式，故常称为差动变压器。 5.1.1 自感式位移传感器及其测量电路 1. 自感式传感器的工作原理 图5.1(a)是变隙自感式传感器的一种结构原理图， 传感器主要由线圈、衔铁和铁芯等组成。图5.1(a)中点划 线表示磁路，磁路中的空气隙总长为δ，工作时衔铁与 被测体相连，被测体的位移引起气隙磁阻的变化，从而 使线圈电感值变化，当将传感器线圈接入测量电路后， 电感的变化进一步转换成电压、电流或频率的变化，完 成了由非电量到电量的转换。 （5.3） 图5.1 变隙自感式传感器的结构原理图 2. 自感传感器实际测量电路举例 自感传感器是一种应用很广泛的传感器，可以用来测量各种工艺参数，如位移、力、压力、流量、转速、转矩、振荡等。它的优点是简单可靠、输出功率大、可以在工业频率下很好地工作。缺点是输出量与电源频率有密切关系，要求有一个频率稳定的电源。 电感测厚仪的测量电路 电感测厚仪的传感器是一只差动式自感传感器，因 此，测量电路是一个不平衡电桥电路，如图5.2所示。 自感传感器的两个线圈的电感L1和L2作为两个相邻 的桥臂，另外两个桥臂采用了电容C1和C2。在测量对角 线输出端，采用四只二极管VD1、VD2、VD3、VD4作为 相敏整流器，在二极管中串联四个电阻R1、R2、R3、R4 作为附加电阻，目的是为了减少由于温度变化时相敏整 流器的特性变化所引起的误差 图5.2 差动式电感传感器测厚电路 (2) 电感测微仪测量电路 电感测微仪原理框图如图5.3所示，它由自感传感器、 交流电桥、交流放大器、相敏检波器、振荡器、稳压电 源和显示器等组成。主要用于精密微小位置测量。 图5.3 电感测微仪原理框图 5.1.2 差动变压器式传感器及其测量电路 1. 差动变压器式位移传感器的工作原理 差动变压器式位移传感器是将被测位移量转换为变压 器线圈的电压，其电路原理如图5.4所示。 图5.4 差动变压器的电路原理 若铁芯上升时，差动变压器的输出电压为 若铁芯下降时，差动变压器的输出电压为 2. 基本测量电路 差动变压器的输出是交流信号，若直接使用电压表测量，只能反映位移的大小，不能反映方向。为了达到能消除零点残余电压及辨别方向的目的，经常采用下面介绍的两种测量电路：差动整流电路和相敏检波电路。 (1) 差动整流电路 差动整流电路其原理是将差动变压器的两个初级线圈 分别整流，然后将整流后的电压或电流差值输出，如图 5.5所示。 由图5.5可知，无论两个初级线圈的输出瞬时电压极 性如何，流经两个电阻R的电流总是从a到b，从d到 c， 故整流电路的输出电压为 图5.5 差动整流电路 图5.6 差动整流电路的输出电压波形 (2) 二极管相敏检波电路 二极管全波差动相敏检波电路如图5.7所示。 (5.7)