【2017年整理】钛合金的CELT加工.docVIP

J Appl Electrochem (2008) 38:785–791 DOI 10.1007/s10800-008-9513-7 钛合金Ti6Al4V的一种电化学微加工方法潜在的应用前景 L．M．Jiang·W．Li·A．Attia·Z．Y．Cheng·J．Tang·Z．Q．Tian·Z．W．Tian Received: 29 August 2007 / Revised: 31 January 2008 / Accepted: 31 January 2008 / Published online: 21 February 2008 ?Springer Science+Business Media B.V. 2008 摘要 在金属上进行的复杂三维微结构（立体微加工）的微加工可被应用于为微机电系统（MEMS）制造许多新型的器件，它将大大促进微机电系统(MEMS)的发展。在本文中，一种被称为约束刻蚀剂层技术（CELT）被开发出来用于钛合金的微加工。微小的不规则四边形槽通过使用一个模板和相应的阴极微结构（梯形插口）被复制在钛合金上。该加工分辨率达到0.503μm。包括分析过程和影响加工分辨率的参数在内的电化学原理都被纳入讨论。 A. Attia is on leave from Physical Chemistry Department, National Research Centre, El-Tahrir St., Dokki, Cairo, Egypt. L. M. Jiang () _ A. Attia _ J. Tang _ Z. Q. Tian _ Z. W. Tian State Key Laboratory for Physical Chemistry of Solid Surfaces, Department of Chemistry, Xiamen University, Xiamen 361005, China e-mail: lm-jiang@ L. M. Jiang _ W. Li _ Z. Y. Cheng School of Material Science and Engineering, Nanchang Hangkong University, Nanchang 330063, China A. Attia Physical Chemistry Department, National Research Centre, 关键字 立体微加工 约束刻蚀剂技术 刻蚀 钛金属 引言 迄今为止硅在用于微机电加工（MEMS）的材料中仍然占主要地位。近些年，由于一些材料所拥有的极好的导电和导热性能以及力学和磁学性能[1–6]，更多的材料被研发出来用于MEMS。然而，自从主要的微加工技术是基于可用于被应用于制造镍和铜的高分辨率的立体微结构的LIGA技术（）以来，直到现在所制造的金属MEMS部件主要是简单结构的镍和铜[9，10]。钛是一种重要金属，但是在LIGA加工的一个关键步骤，在用X光影印微结构的光刻成形钛的电沉积或化学沉积中存在困难，用它很难用LIGA进行微加工。另外，无直线边界的复杂三维微结构很难用LIGA进行加工。 在金属中钛及其合金拥有最好的比强度和抗腐蚀性能。与硅相比，钛及其合金具有更高的断裂韧性，更好的电导率和更好的生物适应性。因此，它们对MEMS应用很有吸引力。尽管作为一种功能薄膜材料，钛很久以来被用于微电子工业那些仅需要钛薄膜的集成电路图形的地方[11,12]，但是由于难以达到高分辨率的微加工复杂3D微结构他们很少用于MEMS。在钛上的表面微加工很容易通过影印，电子束，粒子束或是反离子流刻蚀等方法实现；然而，这些技术很难应用于钛的微加工复杂的3D微结构。正像以上提到的这些金属微加工技术，其他的重要的或是行业的像电化学微加工（EMM）[13-15]已经被研究出来并已经获得一些有价值的微结构[16-18]。然而，由于金属在电化学溶解中的各向同性，过度刻蚀不可避免地会发生。因此，要得到高分辨率的微结构比较困难，尤其是对于复杂的三维的微结构。在上世纪八十年代，Bard等人发明了扫描电镜法（SECM）[19]并用它进行进行金属的微机电加工[20-22]。它在显微电极上产生电化学刻蚀剂刻蚀样品并且对铜的刻蚀有效。不过，由于刻蚀剂的自由扩散，它的立体溶解受到限制。近来，两种新的金属立体微加工方法被提出。一种是由Schuster等人发表的超短电位脉冲电化学加工法[23-26].另一种是由Aimi等人发表的氧化层的各向异性反应离子刻蚀（ARIO）［27］．然而，通过这些方法加工复杂3D微结构仍然比较困难。 在本文中我们为钛及其合金的加工提出名为约束刻蚀剂层技术( CELT