光电反馈式静电悬浮技术.docVIP

浙江大学 硕士学位论文 光电反馈式静电悬浮技术研究 姓名：王新杰 申请学位级别：硕士 专业：光学工程 指导教师：章海军 2002.3.1  摘要 天工业、交通与运输业以及空间材料科学、微电子学和军事科学等许多领域， 技术的发展具有重要的理论意义和实用价值。传统的悬浮技术包括：磁悬浮 ??????⒊??ㄐ?????? ?????? ??????⒌缧?????? 些特殊场合得到应用，但每一种悬浮技术均存在不同程度的局限性。例如，磁 悬浮的工作原理决定了它不能对非磁性材料进行直接悬浮操作；超声波悬浮需 要产生高频的受迫振动，可能对悬浮体造成损伤；气动悬浮的缺点是噪声太大， 也难以实现精确的定位控制；射频悬浮要求被悬浮物为金属导体；光学悬浮则 仅适用于分子级大小的微粒：常规的无源电悬浮仅靠自动调谐电路本身的参数 来获得悬浮，因而调整速度慢，仅在偏离设定位置的一定范围内是稳定的，此 外悬浮的刚度较低，不适合定位精度高的场合。针对现有悬浮技术的发展现状， 本文研究一种新颖的悬浮方法——光电反馈式静电悬浮方法。利用该悬浮方法 可以广泛实现导体?缃鹗羝?、半导体?绻鑇???⒊９婢?堤寤虻缃橹?如 ??????⒉Ａ??⒅狡?等悬浮，进而对其进行非接触的无损操作。 与常规电悬浮和磁悬浮相比，静电悬浮的突出优点是不受悬浮体的磁性和导电 性的制约，因而应用领域更加广阔。一卜 本文的主要研究工作内容、研究特色和创新之处包括： 在理论上，全面系统地揭示了静电悬浮的机理，即静电极与悬浮体之间的 静电感应或极化机理及静电力的作用规律。首次正确解释了静电极与不同悬浮 体?继濉?氲继濉⒌缃橹?之间的静电感应和静电极化规律。建立了悬浮过 程中静电力作用的理论模型，并推导出适用于不同悬浮体的静电悬浮力的计算 公式。此外，通过列悬浮系统进行数学建模分析，建立了静电悬浮姿态控制的  状态方程。这是本文在理论方法上的创新。利用这些规律，结合光电检测及反 馈控制技术，确立和发展了光电反馈式静电悬浮技术。 在技术方法上，建立了光电反馈式静电悬浮的实验装置和设备。包括静电 得了操作电极的优化设计参数。利用激光三角法测距原理，研制完成三路激光 测距探头，可对悬浮目标的悬浮姿态进行实时监控。鉴于传统三角测距法的非 线性，我们提出和发展了一种新的校正方法——采用硬件电路将其线性化，从 压运算放大器价格昂贵的现状，我们自行设计了能实现直流低压——高压转换 及跟随的高压脉动跟随模块，可将?～?的直流电压放大到??～??，响 度可达? ?。 在实验和应用方面，利用自行研制的静电悬浮装置，对不同电学特性的悬 浮体的静电悬浮，并基于光电反馈控制系统获得平稳的悬浮状态。因此，静电 悬浮方法可广泛应用于导体、半导体和常规绝缘体的悬浮，这是本文工作的预 ?  一 ???? ?? ? ???? ?? ? ?? ????? ??? ? ? ????? ???，???? ?????， ???猠????? ????? ? ???? ? ? ?????甌???? ?? ?? ? ????? ?????? ???? ? ????琣????，?????????， ?????，???猣???? ????? ? ?????，???? ???????? ???? ? ????? ???? ? ???? ???? ???? ????． ???? ?????? ?．? ????? ?? ?????琣? ?? ? ???? ? ?????? ???? ?????? ?? ????? ?????甒?????? ????????猻?? ??? ?? ???? ????? ? ? ??? ?? ? ? ????? ? ????? ????? ? ???????????． ??????? ?? ? ? ????? ????? ?????????? ??????? ? ???? ????? ? ? ????? ? ? ???????，?? ??? ??；????? ? ??猚??? ? ?????? ???? ? ??????． ?????? ???? ??????? ?? ??? ?  ———— 塑坚叁?罕?：兰竺堡苎 ????? ? ???? ? ? ? ?? ????? ??????，? ? ? ??? ???? ????? ? ?????琭? ?????? ?? ?? ? ??，? ? ??? ??? ? ??? ? ? ?? ????? ???? ??????? ???． ? ?? ??? ?????? ????瓵 ?? ? ?? ? ?????? ??．? ?????? ? ?? ???? ? ??? ???? ??? ??????? ????? ? ?????? ?? ?甿 ???