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山东大学 硕士学位论文 光栅扫描电子束曝光机真空及换片机构控制系统 姓名：魏强 申请学位级别：硕士 专业：控制理论与控制工程 指导教师：张玉林 2002.11.20  摘 要 电子束曝光技术是目前制造亚微米商分辨率微细图形的主要手段。 工作原理和计算机控制系统。 本文首先综述了微细加工技术的基本知识、国内外电子束曝光技术的 发展过程和趋势以及电子束曝光机的研制与应用，然后较为完接地介绍了 控制系统，包括系统中的控制器和接口。 ， 制方式时，为了避免偶然的事故，特设多点真空检测器，一旦发生故障， ＼ ， 工作原理和控制系统，从理论上推导了真空状态的故障检测方法一压强上 升率法，通过压强一时间特性曲线确定影响真空的主要因素。要保证真空 系统工作的可靠性，尚需研制一种有效的真空故障排除方法。 ， ／换片机构是本机中最为复杂的装置，其任务是在主控计算机和微处理 ? 器的控制下实现自动装载／卸载基片。控制电路由位于工作台下方的控制 器电路、各个机械部件上的传感器电路和微控制器组成。片盒编码系统把 基片大小和数字码信息以机器可读的方式编码，由传送过程中的光电传感  山东大学硕士学位论文 ??的指 厂 ??于光栅扫描型电子柬曝光机的结构极其复杂，目前国内尚无一家单 位对其进行过彻底地研究，整个工程的难度是很大的，需要一个较长的时 间。根据课题的要求，本文仅仅涉及了曝光机真空系统和换片机构的控制 电路部分。系统原先使用的主控计算机由于速度慢、存储量小、无备件， 已经不适应下一步工作的要求，通过研究当前流行的?机的控制功能和 、 ／ 机与微处理器的接口进行了较为详细的研究，对控制软件作了原理性的探 讨，编制出了工作流程，从宏观上设计出控制程序的基本框架，邀些都在 文中作了较为全面的叙述。本课题所做的工作，为下一步更新主控计算机、 重新设计和配置相应的接口、保持系统真空、实现自动换片，以至最后完 成计算机的自动测量与控制打下了一定的基础。 关键词：电子柬光刻、曝光机、真空系统、自动换片、计算机控制 ?  山东大学硕士学位论文 ???? ?? ?? ???? ? ? ????? ?? ?? ???? ???? ??? ? ??? ??‘???? ??? ?????． ??? ???? ???? ?? ? ? ??瑃? ? ?? ???? ??? ? ???? ??? ?????． ? ? ? ??? ???????? ? ???，??? ? ??? ?????? ???????．? ????? ??? ?? ???? ? ??? ?? ? ? ?? ???猵?? ????? ??? ?????瑃? ???．? ? ??? ? ? ??? ???，? ???甇? ?? ?????猼????? ??? ?? ????—?? ???? ??????? ????? ? ??? ??????? ? ??? ? ? ???． ?? ???? ????瑃? ?? ?? ? ???，? ??／??? ????? ? ?? ???? ? ???? ????? ????? ????? ??? ? ? ???瑃? ????? ??????甌? ??? ??? ??? ???? ?? ? ? ?  ?? ?? ? ? ? ??? ??? ?????? ?? ???? ? ??? ?? ??? ???????? ?????? ? ?? ? ???? ? ?? ???? ? ? ??? ?????? ???? ???，? ?? ?? ?????? ? ?? ?? ? ?? ?? ? ??????甌? ???? ? ??? ? ??? ???．? ? ??????? ?? ???畇??????? ?????? ?? ?? ???? ???? ?????，? ??? ? ? ? ???????????? ????? ????? ?? ???? ??? ????? ? ????? ?????甌? ??? ?? ? ? ???甌? ?? ???? ? ?? ? ?????? ?? ? ? ??? ????? ? ?????????甀 ?? ??? ???? ?? ??????? ? ?? ???． ?? ?????????? ???， ???????? ?  缩写符号说明 ??一大规模集成电路??? ? ??? ? ???? ? ??簧?璧缇????? ????? ??坏缱邮?刂??????????? ???? ???? ?一换片室??????? ??? ??一热阴极离子规?? ?一输入升降机??? ??? ?? ??? ???? ???? ??还ぷ魇乙还ぷ髑笆业拇?妥爸???—?—?????? ?一输入阀??? ?一预抽阀???