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微電子工程 張政煒，周煒，王寶泉，袁小霞，李鑫鑫 國家重點實驗室和微系統技術實驗室，上海微系統與信息技術研究所傳感技術和科技，中國科學院，上海200050，中國 輪胎壓力監測系統（TPMS）傳感器：單片集成壓阻式壓力感測器的表面微加工和自我測試加速度計  ARTICLE INFO 文章信息 Article history: 文章歷史 Received 22 April 2011: 收稿日期2011年4月22日 Received in revised form 26 July 2011: 在修訂後的2011年7月26日收到 （2011年10月1日） Accepted 1 October 2011: 2011年10月1日 Available online 7 October 2011: 可在線10月7日 KEYWORDS 關鍵字 Automotive sensor: 汽車傳感器 Pressure sensor: 壓力傳感器 Accelerometer: 加速度計 Piezoresistance: 壓阻 Surface-micromachining:表面微加工 Self-testing: 自我測試 Abstract 摘要 一種新穎的表面微機械加工技術，開發單片集成的壓阻式壓力感測器和加速度計的輪胎壓力監測系統（TPMS）應用。窄的矩形膜片壓阻式壓力感測器和一個固定的光束質量壓阻式加速度計構成單片複合感測器，片上集成了1.6毫米X1.6毫米單芯片低成本生產。隨著電鍍銅地震質量，該加速度計的靈敏度大為改善，這樣它可以兼容製造與壓力感測器使用表面微加工流程。為了促進芯片上的已知良好芯片和可靠的TPMS應用，用於電鍍金屬質量作為一個多功能的結構來實現靜電自檢測的功能加速度計。所製造的TPMS感測器，其特徵在於得到在83.6 mV/MPa/3的靈敏度和0.34％FSO線性為450千帕的範圍的壓力感測器的線性度，以及15.6 lV/g/3 V靈敏度125 G-遠程加速度。此外，芯片上的靜電自檢測的功能，實驗驗證加速度計。 2011年愛思唯爾BV公司保留所有權利 Introducation介紹 根據汽車感測器市場分析，在產品要求的輪胎壓力監測系統(TPMS)正在迅速上升[1.2]。 [1] T. Bever, M. Kandler, J. Valldorf,在第七屆國際技術精華會議汽車應用先進微系統，2003年第261-269 [2] M. Potin, J.C. Eloy, E. Mounier,先進微系統的應用程序(2007年)3-10第一部分越來越多的國家正在計畫，宣布運輸規則，要求車輛每個車輪安裝TPMS。為了滿足市場需求，最近一直集中研究TPMS感測器，為了使產品在市場上的競爭力，發展TPMS感測器功能最低成本、小尺寸和兼容的批量製造與晶圓轉化過程。 為了節省電力長期工作時，其中壓力感測器被啟動，一個加速度濟中的省電模式，將TPMS感測器更好的操作，加速度計檢測，通過檢測車輛的運動，離心加速度的旋轉輪，因此，芯片上集成了壓力感測器，加速度計將更好，擁有高傳輸線性度便於信號處理，矽壓阻式壓力感測器和加速度計[3]TPMS應用程序是非常適合。 [3] Roger T. Howe, Richard S. Muller, Kaigham J. Gabriel, William S.N. Trimmer,光譜電機電子工程師協會27日(1990年)29-31和34-35 為了實現小尺寸低成本，表面微機械加工技術是一個很好的候選的製造單片多功能感測器。進行從前側的晶片，表面微機械加工技術通常採用薄膜沉積和犧牲層蝕刻是相當兼容標準半導體代工工藝。然而，表面微機械壓阻式傳感器滿足技術的挑戰有以下幾個因素：（1）需要一個非常小的膜片結構，一個表面微加工的壓阻式壓力感測器，以避免在膜片與基片，犧牲層的釋放蝕刻過程中很容易發生靜摩擦。（2）表面微加工薄膜震動的質量太輕，樑體結構的加速度，以確保有足夠的加速度靈敏度。因此，較重的震動加速度計的質量應。（3）用於喚醒，以確保可靠的加速度了壓力感測器，自我測試功能應該是片上集成的加速度。（4）在兩個感測器的單片集成與兼容，小型化和低成本的製造方法。 為了滿足上述技術要求，本研究提出了一種新的感測器的設計和製造技術 開發單片集成TPMS應用的廉價和可靠的壓力感測器和自可測試的加速度計。 用於表面微機械加工工藝加上金屬電鍍技術製造集成複合感測器。一個 不規則形狀窄的矩形的的隔膜結構是設計用於壓阻式壓力感測器，設計絕對壓力測量範圍為450千帕。通過採用電鍍銅的質量，該加速度計的靈敏度顯著提高，其中加速度測量範圍為25克至125克和壓力監測喚醒系統的閾值被設置內，根據車輪的直徑的20-25克。電鍍