纳米聚晶金刚石安全高效生产项目可行性研究报告.docVIP

纳米聚晶金刚石安全高效生产技术项目 可行性研究报告 目 录第1章 项 目 概 述 1.1 项目名称 纳米聚晶金刚石安全高效生产技术 1.2 项目背景 金刚石是世界上最坚硬的物质，它有两种形态，一种是单晶金刚石，它具有无可比拟的硬度，但性脆、不耐冲击；另一种是聚晶金刚石，其外表呈灰黑色，被称作“Carbonado”，天然的“Carbonado”是一种名贵的聚晶金刚石，各向同性，质地非常致密坚韧，冲击韧性可达到单晶金刚石的10倍，工业使用价值极高。但聚晶金刚石蕴藏在地下数百公里的岩体里，只有火山喷发时才被带出地表，并且储量少、发现困难，价值昂贵，不能满足生产的需要。 由于以半导体工业为基础的微电子产业迅速发展，自80年代以来美国GE公司就看到了硅片精加工中所蕴涵的巨大商机和挑战，积极开展了静压法单晶金刚石在硅片加工应用方面的研究。但单晶金刚石沿解理面脆断形成的锋利刃口不可避免会划伤工件表面，而硅材料的微电子性能对表面轻度损伤又极端敏感。在这种背景下逐渐发展了另一种硅片加工工艺，即化学腐蚀抛光法。这一工艺对于小尺寸硅片发挥了良好的作用，现已成为硅片加工主流工艺。由于化学腐蚀抛光法无法保证硅片的整体平整度，随着硅片尺寸越来越大，精度要求越来越高，这种工艺已不能满足需要，这就为在硅片超精细加工中使用纳米聚晶金刚石微粉提供了契机。 由纳米聚晶金刚石微粉制成的磨具或研磨剂，可用于各种坚硬材料制品的精细加工和抛光，与单晶金刚石微粉相比，其加工效率高、表面光洁度高，显示了优异的性能。用纳米聚晶金刚石加工的芯片在计算机领域以及传统支柱产业（如汽车、航空工业）中有着广泛的应用前景。 爆炸合成聚晶金刚石已有30多年历史，但规模并不大。这是由于其本身存在一些未能克服的缺点，主要表现为：每公斤炸药产量不高；操作不够简便，难以规模化。为了改善这种供不应求的局面，中国科学院爆炸力学专家经过长期理论和时间研究对技术方案和工艺流程做了重大改进和更新，使纳米聚晶金刚石得以产业化生产。 1.3 项目内容 本项目引入中科院成熟技术，利用丰富的石墨资源，建成年产1000万克拉纳米聚晶金刚石生产的高新技术企业。1.4 项目产品特点及应用领域 1.4.1 项目产品特点 本项目生产的纳米聚晶金刚石，具有独特的类球状形貌，各向同性，无解理面。它既具有超常的硬度，又有纳米材料的高强度和高韧性。作为超精细加工的磨料，它不易划伤工件表面，能满足最苛刻的加工要求。在磨削过程中，随着纳米晶粒适时自动剥落，不断出现新的锋利的微观刃口，这种性质被称为“自锐性”。“自锐性”使得磨削效率高、工件表面的平整度高、损伤层浅，最适合应用于高档硅片的研磨和抛光。在高新技术产业和传统支柱产业中均有重要应用。 1.4.2 项目产品应用领域 纳米聚晶金刚石广泛应用于集成电路硅片、碳化硅晶片、太阳能光伏电池硅片以及磁头等IT产业制品的超精细加工中。 1、在集成电路硅片领域，纳米聚晶金刚石微粉用作研磨材料可实现大尺寸集成电路的硅圆片表面的超精细加工。 2、在太阳能光伏电池方面，降低损伤层厚度是提高太阳能光伏电池光电转化率的最关键，也是最难解决的问题。采用纳米聚晶金刚石加工硅片，可以降低其表面损伤层厚度，光电转化率则可跨上一个台阶。 3、在硬盘存储方面，随着存储密度的提高，巨磁阻磁头的平整度要求达到Ra=2 nm，甚至小于1 nm。这种由多层硬度迥异材料构成的元件，要求达到如此高的平整度，其超精细加工的难度是当今最高的。采用类球状纳米聚晶金刚石加工的表面平整度基本达到了Ra=1 nm的要求。 4、在切削道具方面，金刚石以其高硬度、高耐磨性、高传热而成为理想的切削刀具，具有高精、高效、长寿、低耗等优点，适用于有色金属材料高速精密和自动化加工，能以车、铣代磨，目前已在汽车、航天航空、精密机械、家电、木材等行业得到广泛应用。 此外纳米金刚石还在众多工业领域得到应用。 1.5 投资必要性和预期经济效益 1.5.1 投资必要性 集成电路硅片、碳化硅晶片、太阳能光伏电池硅片以及磁头等IT产业超精细加工纳米聚晶金刚石而这些行业都是我国乃至世界重要的产业领域对纳米聚晶金刚石的需求必将同步上升。无论是国产金刚石还是其制品，质量均属中低档，与发达国家质量水平差别较大。国内高档金刚石只有中非人工晶体研究院、保定八达稳德金刚石公司能生产，但产量很低，大量的靠进口。可以说，高档金刚石市场基本被进口货所垄断。本项目生产的纳米聚晶金刚石进口产品品质，满足国内对高档金刚石的需求。 1.5.2 预期经济效益 本项目技术采用中科院先进技术，具有产率高、成本低、产品质量好的优势。目前国内纳米聚晶金刚石销售价格为7元/克拉，达产后每年的预期产值可达7000万元。