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剪切干涉技术新进展 史红民　倪受庸　付　雷　王　昊　陆耀东 　　提要：在共光路干涉中，剪切干涉法已在很多领域有着广泛的应用。该方法有其独特的优越性，也存在局限性。这导致剪切干涉法只能在特定的条件下测量某些特定量。本文主要讨论干涉法的这些优缺点，并总结一些新进展，如剪切干涉中的相移技术，二维剪切干涉技术和剪切干涉中的载波技术。所有这些进展都是为了扩展剪切干涉法的应用领域，提高该方法的精度，并实现自动测量。　　关键词：剪切干涉，相移，载波 The new progress in shearography Shi Hongmin　Ni Shouyong　Fu Lei　Wang Hao　Lu Yaodong(Beijing Institute of optoelectronic Technology,Beijing　100010) Abstract:As common－path interferometers,shearography(shear interferometer) has been widely used in many fields.It has some special advantages as well as some disadvantages.This leads to the result that shearography can only be used in some special conditions for some special use.In this paper,both the advantages and the disadvantages are discussed.Some new progress,such as,the phase－shift in shearography,two－dimensional shearography and the photo－carrier in shearography,are proposed.All of the new progress is developed in the aim of extending the application field,improving the processing accuracy and realizing automatic measurement.　　Key words:shearography,phase-shift,photo-carrier 1　前言　　通常的干涉仪，如泰曼—格林干涉仪或马赫—泽德干涉仪，参考光和物光沿不同的光路传播，因此受机械振动和温度扰动的影响。这导致该方法只能在防振台上，并有控温和稳定气流设施的环境下，才能得到稳定、清晰、高对比度的干涉条纹。这种局限性使剪切干涉法只能应用于有较好条件的实验室。上述大多数局限性可由所谓共光路干涉法来克服，也就是让参考光和物光基本上沿同一光路进行传播。本文主要讨论上述问题，并提出解决方案。2　剪切干涉法　　剪切干涉法是干涉法中的一种很重要的方法，已在很多领域有着广泛的应用，如光学系统和光学器件的检测、液体和气体流动的研究、实验力学中的应力、应变和振动分析。目前已有很多种剪切干涉仪器，人们通常按剪切方向或剪切方法对它们进行分类。从剪切方向上可分为横向剪切、径向剪切、旋转剪切、反转剪切；从剪切方法上可分为平板剪切干涉仪、萨瓦偏光镜干涉仪、渥拉斯特棱镜干涉仪和光栅剪切干涉仪。在这些干涉仪中，用到了光学的很多基本现象，如平板剪切干涉中的反射和折射现象、光栅剪切干涉中的衍射现象、萨瓦偏光镜干涉仪和渥拉斯特棱镜干涉仪中的光偏振和双折射现象。　　剪切干涉的优点是对机械振动、温度扰动、以及空气流动都不敏感。因此在实验室外(如现场检测)有着广泛的应用。但是剪切干涉仍有其局限性，如难以形成相移、不易进行定量分析、要得到完整信息还需进行二维剪切、以及不易进行自动处理等。我们的研究小组已对这些问题进行了一系列的研究，并在一些方面取得明显进展，如剪切干涉中的相移法、二维剪切干涉系统、剪切干涉中的载波技术、以及序列图象处理技术。这些将在下文中进行讨论。3　剪切干涉中的相移技术〔5〕3.1　相移技术的主要问题　　光学干涉法因为具有全场、非接触测量和高灵敏度等优点，所以被认为是精确测量中的主要方法。但是有两个原因使得该方法只能应用于实验室中。首先，光学干涉对测试环境的要求很高，通常需要全封闭、防振、防尘。解决该问题的唯一方法是使用剪切干涉，因为在共光路干涉中，物光和参考光基本上沿同一光路传播，所以环境干扰对两束光的作用相同，干涉条纹没有变化。这种方法是干涉法中唯一能离开防振台，离开实验室，走向现场测试的方法。第二，干涉条纹非常复杂，很难识别和