形貌分析-SEM.pptVIP

分析测试中心 扫描电镜分析 扫描电镜分析 扫描电子显微镜的基本知识与像差 电子束与固体样品作用和产生的信号 扫描电子显微像的衬度 扫描电子显微镜的构造和工作原理 扫描电子显微镜的样品制备 各种信息分辨率比较 二次电子电子象 在扫描电镜中主要利用二次电子的信息观察样品的表面形貌。 二次电子的能量一般在50eV以下，并从样品表面5～10纳米左右的深度范围内产生，并向样品表面的各个方向发射出去。 利用附加电压集电器就可以收集从样品表面发射出来的二次电子。被收集的二次电子经过加速，可以获得10keV左右的能量。 可以通过闪烁器把电子激发为光子，最后再通过光电倍增管产生电信号，进行放大处理，获得与原始二次电子信号成正比的电流信号。 二次电子象的分辨率 在扫描电镜中形貌象的信息主要来自二次电子象。一般来说，二次电子象的信息来自于样品表面下5～10纳米的深度范围。 产生区域大小则是由辐照电子束的直径以及二次电子能发射到表面深度下电离化区域大小所决定。 此外，由发射电子和X射线激发所产生的二次电子原则上也应该包括进去。 因此，二次电子象的衬度信息来自与三个生成因素。 二次电子象的衬度 二次电子象的衬度是由样品中电子束的入射角，样品表面的化学成份以及样品和检测器的几何位置等因素所决定的。 衬度： (对比度，是得到图象的最基本要素) S为检测信号强度 分别介绍如下。 入射角关系 垂直于样品表