俄歇电子能谱+光电子能谱课题.ppt

* X射线光电子能谱仪的主要功能 定性分析 实际样品的光电子谱图是样品所含元素的谱图的组合。根据对样品进行全扫描获得的光电子谱图中峰的位置和形状，与手册提供的纯元素的标准信息进行对比，既可以分析样品所包含的元素种类，及进行定性分析。 一般的分析是，首先识别最强谱线，然后，找出被识别出的元素的其它次强谱线，并将识别出的谱线标示出来。与俄歇电子能谱仪的定性分析过程基本相同。 * Cu的标准谱（X射线光电子谱主峰和化学位移表） Cu的标准谱（俄歇线） * 标准光电子谱图中的能量坐标一般是结合能，而不是动能。尽管光电子的结合能与激发源光子能量（靶材）无关，但俄歇电子的结合能与靶材有关；并且不同靶材使同一元素电离出的光电子各峰在强度上不一定都完全相同。因此，分析时最好选用与标准谱图中相同的靶材。 与俄歇电子能谱的分析相同，光电子谱的定性分析也可由能谱仪中的计算机软件来自动完成。但对某些重叠峰和微量元素弱峰需通过人工分析来进一步确定。 * 定量分析 定量分析是根据光电子的信号强度与样品表面单位体积的原子数成正比，通过测得的光电子信号的强度来确定产生光电子的元素在样品表面的浓度。 XPS的定量分析与俄歇谱的定量分析有不少共同之处。主要也是采用相对灵敏度因子法。 但是，元素的相对灵敏度因子通常是以F1s谱线强度为基准，其它元素的最强谱线或次强线与之相比而得。 * 与俄歇定量相比，X射线光电子谱没有背散射增强因子这个复杂因素，也没有微分谱造成的峰形误差问题，因此定量结果的准确性比俄歇谱好，一放认为，其误差可以不超过20％。 * 化学态分析 化学态分析是XPS分析中最具特色的分析技术。它是基于元素形成不同化合物时，其化学环境发生变化，将导致内层电子的结合能发生变化，在谱图中产生峰的位移（这种位移称为化学位移）和某些峰形的变化，而这种化学位移和峰形的变化与元素化学态的关系是确定的。据此，可对元素进行化学态分析，即确定元素形成哪种化合物。 * 化学位移具有如下规律： 氧化价态越高，结合能越大； 与元素所考虑原子相结合的原子，其元素电负性越高，结合能越大。 Be的1s光电子的化学位移 * 目前，化学态的分析还处于一种基于现有标准谱图和标样进行对比分析的定性分析状态，还不是一种精确分析。由于各种元素标准谱图资料有限，以及谱图校准的不精确，将对分析造成较大困难。 用谱峰间距的变化来识别元素的化学态更为有效。这样，常用的对比方法有两种：化学位移法和俄歇参数法。 * 化学位移法 通过对比标准谱图，确定化学位移，从而确定元素的化学态。 俄歇参数法 通过俄歇参数α（即最尖锐俄歇峰动能与光电子动能的差值）来确定元素的化学态。 * 组分分析是经常进行的工作。选用分析方法时应考虑以下因素： 能否测轻元素 检查灵敏度对不同元素差别如何 最小可检测的灵敏度 是否能作定量分析 能否判定元素的化学态 谱峰分辨率如何 是否易于辨识 表面探测深度 能否作微区分析 表探测时对表面的破坏性等等。 * END * 表面成分分析的主要技术 俄歇电子能谱分析（AES） X射线光电子能谱分析（XPS） 场离子显微分析（FIM） 原子探针（Atom Probe） 离子探针（IMA） 低能电子衍射（LEED） * 俄歇(Auger)过程和俄歇电子 1925年，法国科学家Pierre Auger 在用X射线研究某些惰性气体的光电效应时，意外地发现了一些短小的电子轨迹。轨迹的长度不随入射X射线的能量而变化，但随原子的不同而变化。Auger认为：这一现象是原子受激后的另一种退激过程所至。过程涉及原子内部的能量转换，而后使外层电子克服结合能向外发射。他的发现与所做的相应解释被证明是正确的。因此，用他的名字来命名这种过程和发射的电子。 一、 俄歇电子能谱分析 * (1)原子内某一内层电子被激发电离从而形成空位， (2)一个较高能级的电子跃迁到该空位上， (3)再接着另一个电子被激发发射，形成无辐射跃迁过程，这一过程被称为Auger效应,被发射的电子称为Auger电子。 基本原理 * 俄歇过程的系列和系列所包含的群 系列——是以受激产生的空穴在哪一个主壳层来划分 群——是在系列下以填补电子与发射电子在基态时的位置来划分。 K 系列 KLL KLM KMM L 系列 LMM LMN LNN M系列 N系列 MNN MNO NOO * 俄歇电子的能量 由