6.2.2激光衍射测量的方法.ppt

6.1.1 干涉测长的基本原理 1. 激光干涉测长的基本光路是一个迈克尔逊干涉仪,如图6-1示,用干涉条纹来反映被测量的信息。两束光的光程差可以表示为 2.被测长度与干涉条纹变化的次数和干涉仪所用光源波长之间的关系是 图6-1 激光干涉测长仪的原理图 3.从测量方程出发可以对激光干涉测长系统进行基本误差分析 6.1.2 激光干涉测长系统的组成 1. 除了迈克尔逊干涉仪以外，激光干涉测长系统还包括激光光源，可移动平台，光电显微镜，光电计数器和显示记录装置。 2.迈克尔逊干涉仪是激光干涉测长系统的核心部分，其分光器件、反射器件和总体布局有若干可能的选择。 3.干涉仪的分光器件原理可以分为分波阵面法、分振幅法和分偏振法。 分振幅平行平板分光器和立方棱镜分光器 偏振分光器(参见图6-6中的B2)以及由晶轴正交的偏光棱镜组成如沃拉斯顿棱镜。 4.干涉仪中常用的反射器件:平面反射器、角锥棱镜反射器（图6-2a）、直角棱镜反射器（图6-2b）、猫眼反射器（图6-2c） 图6-2 反射器 6.1.2 激光干涉测长系统的组成 5.激光干涉仪的典型光路布局有使用角锥棱镜反射器的光路布局，如图6-3示。 图6-3 典型光路布局 6. 移相器也是干涉仪测量系统的重要组成部分。常用的移相方法有机械移相（图6-4），翼形板移相，金属膜移相和偏振法移相。 图6-4 机械法移相原理图 6.1.2 激光干涉测长系统的组成 7.干涉条纹计数时，通过移相获得两路相差π/2的干涉条纹的光强信号，该信号经放大，整形，倒向及微分等处理,可以获得四个相位依次相差π/2的脉冲信号（图6-5）。 图6-5 判向计数原理框图 6.1.3 激光外差干涉测长技术 1.外差干涉仪：在干涉仪的信号中引入一定频率的载波，使被测信号通过这一载波来传递，干涉仪能够采用交流放大，隔绝外界环境干扰造成的直流电平漂移。 2.产生干涉仪载波信号的方法有两种 3.双频激光干涉仪的光路如图6-6所示，其中氦氖激光器上沿轴向施加以磁场，由于塞曼效应激光被分裂成有一定频率差的左旋偏振光f1和右旋偏振光f2 图6-6 双频激光干涉仪光路图 4.测量反射镜运动产生的多普勒频移可以表示为 5.测量镜的位移量可由下式计算 6.1.4 激光干涉测长应用举例 1.激光测角的原理与小角度干涉仪类似,都是采用三角正弦原理。如图6-7所示。被测的转角为： 图6-7 激光测角原理示意图 1:偏振分光棱镜组；2: 角锥棱镜组；3, 3‘: 检偏器；4, 4’: 光电接收器；5,5‘: 放大器；6: 倍频和计数卡；7: 计算机 6.1.4 激光干涉测长应用举例 2.激光测折射率也利用双频激光干涉技术，其光路如图6-8。 图6-8 双频激光干涉仪测量空气折射率 1:偏振分光棱镜；2: 分光器；3: ?波片；4: 真空室；5: 抽气口；6:角锥棱镜；7: 检偏器；8: 光电接收器；9: 补偿环 6.2.1 激光衍射测量原理 1.光的衍射现象，按衍射物和观察衍射条纹的屏幕(即衍射场)之间的位置关系一般分为两种类型：菲涅耳衍射和夫琅和费衍射 2.单缝衍射测量 单缝衍射测量的原理：激光单缝衍射测量的基本原理是单缝夫琅和费衍射，图6-9为其原理图。条纹的光强可表示为： 图6-9 衍射测量原理图 单缝衍射测量的基本公式: , 当被测物体尺寸改变δ时，相当于狭缝尺寸改变δ，衍射条纹的位置也随之改变,可得 单缝衍射测量的分辨力、精度和量程: 6.2.1 激光衍射测量原理 3. 圆孔衍射测量 图（6-10）表示了圆孔的夫琅和费衍射原理，接收屏上衍射条纹的光强分布为 图6-10 圆孔的夫琅禾费衍射原理示意图 设中心亮斑(即第一暗环)的直径为d 6.2.2 激光衍射测量的方法 1. 间隙测量法 其基于单缝衍射的原理。作尺寸的比较测量,如图6-11(a)。作工件形状的轮廓测量，如图6-11(b)。作为应变传感器使用，如图6-11(c)。 图6-11 间隙测量法的应用 用间隙测量法测量位移,即测量狭缝宽度b的改变量?=b’-b,可采用绝对法,求出变化前后的两个缝宽b和b’，然后相减。也可以用增量法。后者所用公式为 6.2.2 激光衍射测量的方法 2. 反射衍射测量法 反射衍射是利用被测物的边缘和反射镜构成的狭缝来进行衍射测量的，图6-12所示为其原理。 图6-12 反射衍射法原理图 在P点处出现第级暗条纹的光程差应满足 ,在该图的几何关系下缝宽可以表示为 6.2.2 激光衍射测量的方法 3. 分离间隙法 利用参考物与被测物不在同一平面内情况下所形成的衍射条纹进行精密测量的方法称为分离间隙法。分离间隙法的测量原理如图6-13所