光学测试第一章节.pptVIP

绪论 一、光学测量与测试技术的作用： 利用光学原理进行精密测量，一直是计量测试技术 领域中的主要方法。由于光学测量方法具有非接触、 高灵敏度和高精度等优点，在近代科学研究、工业 生产、空间技术、国防技术等领域中得到广泛应 用，成为一种无法取代的测量技术。随着微光学和 集成光学的发展，光学测量系统向微型化、集成化 方向发展，促使光学测量技术成为近代科学技术与 工业生产的眼睛，是保证科学技术、工业生产发展 的主要高新技术之一。 绪论 二、技术现状 利用自然界存在的光线进行计量与测试最早开始于 天文与地理测量中。望远镜和显微镜的出现，光学 与精密机械的结合，是许多传统的光学计量与测试 仪器广泛应用于各级计量即工业测量部门。激光器 的出现和信息光学的形成，特别是激光技术与微电 子技术。计算机技术的结合，出现了光机电一体化 的光学测量技术。在光机电金字塔中，塔顶是光， 光学是这个基础体系中的原理基础。 绪论 近代光学测量系统的主要特点： 1、从主观光学发展称为客观光学，即用光电探测 器取代人眼这个主观探测器，提高了测量精度和效 率。 2、用激光光源取代常规光源，获得方向性极好的 实际光线用于各种光学测量上。 3.从光机结合模式向光机电一体化的模式转换，实 现测量与控制的一体化。 绪论 三、技术发展方向 1、亚微米级、纳米级的高精度光学测量方法首先 得到优先发展，利用新的物理学原理和光电子原理 产生的光学测量方法将不断出现。 2、一微细加工技术为基础的高精度、小尺寸、低 成本的集成光学和其它微传感器将成为技术主流方 向，小型、微型非接触式光学传感器以及微光学这 类微结构光学测量系统将暂露头角。 3、快速、高效的3D测量技术将取得突破，发展带 存储功能的全场动态测量仪器。 绪论 4、发展闭环式光学测试技术，实现光学测量与控 制的一体化。 5、发展光学诊断和光学无损检测技术，一替代常 规的无损检测方法与手段。 绪论 四、光学测量与测试技术的基本概念 计量学是指研究、保证测量统一和准确的科学； 计量泛指对物理量的标定、传递与控制。 计量学研究的主要内容：计量单位及其基准、标准 的建立、保存与使用，测量方法和计量器具，测量 不确定度，观察者进行测量的能力以及计量法制与 管理等。计量学也包括研究物理常数和物质标准， 材料特性的准确测定。 绪论 测量是指将被测值和一个作为测量单位的标准量进 行比较，求其比值的过程。 从计量学的定义和内容可以看出，计量的主要表现 方式是测量。测量的目的是要得到一个具体的测量 数值，这个数值还应包括测量的不确定度。一个完 整的测量过程包括四个测量要素：测量对象和被测 量，测量单位和标准量，测量方法，测量的不确定 度。 检验是指判断测量是否合格的过程，通常不一定要 求具体数值。 绪论 测试是指具有试验研究性质的测量，一般是测量、 试验和检验的总称。测试是人们认识客观事物的方 法。测试过程是从多个事物中摄取有关信息的认识 过程。在测试过程中，需要借助专门的设备，通过 合适的实验和必要的数据处理，求得所研究对象的 有关信息量值。 灵敏度是指测量系统输出变化量Δy与引起该该变 化量的输入变化量Δx之比。测量系统输出曲线的 斜率就是其灵敏度，对于线性系统，灵敏度是一个 常数。 绪论 分辨率是指测量系统能检测到的最小输入增量。 误差是指测得值与被测量的真值之间的差值。误差 可分为系统误差、随机误差与粗大误差。 精度反映测量结果与真值接近程度的量。在现代计 量测试中，精度的概念逐步被测量的不确定度代替。 测量不确定度是表征合理赋予被测量的量值的分散 型参数。主要包括不确定度的A类评定-----用对重复 的统计分析进行不确定度的评定方法；B类评定----- 用不同于统计分的其它方法进行不确定度评定方法。 第一章 基本光学测量技术 第一节 光学测量中的对准与调焦技术 §1-1光学测量中的对准与调焦技术 基本概念： （一）对准（横向对准）------一个目标与比较标 志在垂直瞄准轴方向的重合和置中。 注意： 1、目标、标志是广义的，在物空间比较时，是真正 的目标；在像方比较时，则是目标的像。 2、眼睛的瞄准轴是黄斑中心与眼睛后节点的连线； 光学仪器的瞄准轴是指光学仪器的某个对准用标志 与物镜后节点的连线。 §1-1光学测量中的对准与调焦技术 （二）调焦（纵向对准） ---一个目标像与比较标志 在瞄准轴方向的重合。 调焦的目的：主要是使物体（目标）成像清晰，其 次是为了确定物面或它的共轭像面的位置。 确定物体的共轭像面的位置又称为定焦。 （三）对准误差---目标与标志在垂轴方向残留的偏 离量。 （四）调焦误差---定焦后目标像与标志沿轴向残留 的偏离量。 §1-1光学测量中的对准与调焦技术 一、人眼的对准误差和调焦误差 眼睛的对准误差以偏